Реферат Курсовая Конспект
Методи градуювання манометра Мак-Леода - Конспект, раздел Философия, КОНСПЕКТ ЛЕКЦІЙ З КУРСУ ЕЛЕКТРОТЕХНОЛОГІЧНІ УСТАНОВКИ ТА ПРИСТРОЇ. ВАКУУМНА ТЕХНІКА Визначення Об’Єму V...
|
Визначення об’єму Vзалежить від того, як балон буде наповнюватися ртуттю:
а) Лінійне градуювання. Ртуть піднімають до рівня позначки L, що знаходиться на відстані l від верху трубки стискання.
Тоді
==. (14.7)
Величину
(14.8)
називають постійною компресійного манометра з лінійною шкалою. У цьому випадку міра стискання не змінюється і тиск, що вимірюється, прямо пропорційний різниці рівнів h. Для розширення діапазону вимірювань вибирають декілька значень l, для кожного з яких існує своя постійна .
б) Квадратичне градуювання. Ртуть піднімають до рівня позначки K, що знаходиться на порівняльній трубці на рівні верху трубки стискання. Тоді ртуть підніметься в трубці стискання до іншого рівня на відстані h від її верху.
Тепер
==. (14.9)
Величину
(14.10)
називають постійною компресійного манометра з квадратичною шкалою. У цьому випадку тиск, що вимірюється, пропорційний квадрату різниці рівнів h; звідки і назва методу квадратичного градуювання. Міра стискання манометра з квадратичною шкалою змінюється і це дозволяє проводити виміри в більш широкому діапазоні тисків.
Ртуть, що застосовується в компресійних манометрах, піддається дії високого тиску, тому вона повинна бути абсолютно чистою. Перед використанням вона підлягає хімічному і електролітичному очищенню і вакуумній дисциляції.
Для вимірювання низьких тисків виготовляють манометри з великими об’ємами балона (але зважаючи на крихкість скла, не більше 1000 см, зазвичай ~ 500 см) і діаметром капіляра не менше 0,8 мм. Зменшення діаметра призводить до зростання ефекта капілярної депресії (ртуть починає прилипати до стінок трубки, що викликає можливість розділення неперервного стовпчика ртуті, виникає електризація скла). Як приклад граничного випадку можна вказати на манометр з об’ємом = 1300 см(необхідна маса ртуті 32 кг) і діаметром капіляра = 0,63 мм. Постійна цього манометра = 2,4, що дозволяє при h = 2 мм виміряти тиск Торр.
Для вимірювання високих тисків (але не більше 10 Торр) використовують прилади, що мають невеликий об’єм балона (< 200 см) і капіляр з більшим діаметром.
До позитивних якостей компресійних манометрів відноситься можливість його повного розрахунку, що дозволяє використовувати такі манометри як еталонні.
До негативних якостей відноситься неможливість виконання безперервних вимірів (завжди перед вимірюванням необхідно звільняти балон від ртуті), використання ртуті (треба приєднувати манометри до вакуумної системи через азотні пастки), крихкість скла, а також неможливість вимірювань парціальних тисків пари речовин (наприклад , , …), які легко конденсуються під дією сильного (в ~ ) стискання.
Запитання для самоперевірки
1. Наведіть класифікацію манометрів.
2. Пояснити будову і принцип роботи деформаційних манометрів.
3. Пояснити будову і принцип роботи рідинних манометрів у вигляді U-коліна.
4. Пояснити будову і принцип роботи манометра Мак-Леода.
5. Яку шкалу манометра Мак-Леода називають лінійною?
6. Яку шкалу манометра Мак-Леода називають квадратичною?
7. Який порядок визначення тиска манометром Мак-Леода з лінійною шкалою вимірювання?
8. Назвіть позитивні і негативні якості манометра Мак-Леода.
Лекція п’ятнадцята
ТЕПЛОВІ МАНОМЕТРИЧНІ ПЕРЕТВОРЮВАЧІ
У теплових манометричних перетворювачах використовується явище переносу тепла газом від нагрітої електричним струмом тонкої платинової нитки до стінок трубки, в якій розміщена ця нитка.
Відомо, що при в’язкісному режимі теплопровідність газу не залежить від тиску, оскільки
= , (15.1)
де - коефіцієнт теплопровідності газу; - коефіцієнт внутрішнього тертя; - питома теплоємність за постійним об’ємом.
Але при молекулярному режимі течії газу з’являється залежність коефіцієнта внутрішнього тертя від тиску; він зменшується при зменшенні тиску і в першому наближенні можна записати, що
= . (15.2)
Отже, чим меншим буде тиск газу, тим менше буде охолоджуватися нагріта нитка і її температура буде зростати як обернено пропорційна функція тиска.
15. 1. Манометр опору
Манометр опору складається з двох частин: вимірювальної і частини, що взаємодіє з газом і з’єднується з вимірювальною. Останню ще називають датчиком або манометричним перетворювачем.
Рис. 15.1 Рис. 15.2
Електрична потужність, що використовується для нагрівання платинової нитки, витрачається не тільки на нагрівання безпосередньо нитки (IR), й на нагрівання електродів (P), до яких приєднана нитка, на випромінення відповідно закону Стефана - Больцмана (P) і на нагрівання стінок трубки газом внаслідок теплопровідності газу (P).
Таким чином рівняння балансу потужності матиме такий вигляд:
IR = P+ P+ P, (15.3)
де I- величина струму, яким нагрівається нитка до температури, наприклад, T; R- величина електричного опору нитки за цією температурою (слід пам’ятати, що електричний опір металів змінюється залежно від температури як R= R(1 + t), де R- опір при 0C , - температурний коефіцієнт опору і t, - температура за Цельсієм );
P= k( T- T) p ; P= k( T- T); P=k( T- T): (15.4)
k, k, k- відповідні множники пропорційності , а T і T- температура стінок трубки і кінців електродів відповідно.
Величини Pі Pне залежать від тиску газу, коли тиск є більшим ніж Торр. Якщо їх зробити значно меншими за P, то ними можна буде знехтувати. Для того, щоб Pбула відносно малою достатньо вибрати тонку нитку з малим коефіцієнтом теплопровідності (платина). Від величини Pзалежить чутливість манометру при різних тисках. Для підвищення чутливості манометра до зміни температури нитки внаслідок дії теплопровідності газу, необхідно, щоб потужність Pбула якомога більшою за P. У той же час, щоб манометр опору мав високу чутливість при вимірюваннях низьких тисків, нитку необхідно нагрівати до відносно низької температури. У цьому разі теплопровідність газу стає дуже малою і при низькій температурі нагріву випромінювана потужність теж зменшиться. Навпаки, при більших тисках вимірювання вигідно виконувати при вищий температурі нагріву нитки, тобто при більшій величині струму I.
Таким чином, величина вимірюваного тиску і чутливість перетворювача залежать від величини струму Iі температури нагріву нитки T.
Вимірювання тиску за допомогою манометра опору виконують таким чином:
1) при якомога низькому тиску в лампі (Торр) встановлюють робочий струм I, якому відповідає температура нагріву нитки T;
2) газ, що напускається в лампу, буде охолоджувати нитку і її електричний опір зменшиться, це призведе до зростання струму I, який вимірюють .
З метою збільшення чутливості вимірювань манометричний перетворювач підключають до зрівноваженого містка для вимірювання опору, як одне з плечей. Зменшення тиску з початком відкачки призводить до зростання температури нагрівання нитки і, отже, до збільшення її опору. Місток розбалансується і для приведення його до зрівноваженого стану необхідно буде зменшити струм I. Оскільки вимірюється струм, а знати треба тиск, то використовують градуювальну криву манометра опору (рис. 15.2), за якою за визначеними величинами струму і знаходять відповідні тиски.
15. 2. Термопарний манометричний перетворювач ЛТ - 2
Другим прикладом використання залежності теплопровідності газу від його тиску є термопарний манометр.
Термопарний манометричний перетворювач ЛТ - 2 - це лампа зі скляним або металевим балоном (ЛТ - 4), в який вмонтовано чотири електроди. Як і в манометрі опору, до двох з них приєднана платинова нитка (дротик) 1 (рис. 15.3), яка нагрівається електричним струмом від батареї БТ. До середини платинової нитки приварена термопара 2, вільні кінці якої приєднані до останніх двох електродів, до яких через розйом підключається мілівольтметр. Величина робочого струму I, що нагріває нитку, контролюється міліамперметром 3 і встановлюється до відповідного значення реостатом R .
|
|
Відкритим кінцем лампа приєднується герметично до вакуумної системи. Поки тиск у вакуумній системі буде атмосферним, мілівольтметр буде показувати Т.Е.Р.С., близьку до нуля при струмі I, заданому для даної лампи при її виготовленні. При достатньому зниженні тиску мілівольтметр 4 почне показувати зростаючу Т.Е.Р.С., тому що теплопровідність газу із зниженням тиску зменшиться і це призведе до підвищення температури нитки і термопарного спаю. Коли тиск знизиться настільки, що теплопровідність стане дуже малою і температура нитки перестане зростати, стрілка мілівольтметра зупиниться на граничній (максимальній ) позначці, при умові що струм Iбуде попередньо вірно виставлений і постійно залишатися незмінним; у цей момент витрати тепла ниткою і термопарою будуть зумовлені практично тільки теплопровідністю самих дротиків і випроміненням .
Термопарну манометричну лампу виготовляють у запаяному вигляді з вакуумом в середині - Торр. Щоб вірно визначити робочий струм запаяної лампи, необхідно дуже старанно підібрати величину Iреостатом R так, щоб стрілка мілівольтметру, який показує величину Т .Е.Р.С., встановилась при цьому струмі незмінно на поділці 10 mV. Цей струм і є робочим для даної лампи, тобто струмом відповідно високому вакууму, при ньому виконують всі вимірювання після приєднання попередньо відкритої лампи до вакуумної системи.
За допомогою термопарної лампи вимірюють фактично не тиск, а Т.Е.Р.С., тому для визначення тиску використовують градуювальну криву - залежність величини Т.Е.Р.С. від тиску (рис. 15.4).
Тепловими манометричними перетворювачами можна проводити вимірювання для різних газів і пари, вести безперервні спостереження за зміною тиску у вакуумній системі; вони не складні для виготовлення. Усе це є їх позитивними якостями. Але вони мають і недоліки, головними з яких є: вузький діапазон вимірювання тиску (5– ) Торр, оскільки чутливість манометра поза межами діапазону різко знижується і виміри стають неточними; залежність градуювальних кривих від виду газу і зміни робочого струму Iз часом. Останній недолік виникає тому, що змінюється електричний опір платинової нитки - її поверхня забруднюється парою вакуумних масел та ін. У зв’язку з цим при використанні теплових манометричних перетворювачів необхідно періодично перевіряти (визначати) робочий струм. Очевидно, що для цього вакуумну систему необхідно відкачати до тиску не менше - Торр.
15. 3. Іонізаційні манометричні перетворювачі
Вимірювання тиску за допомогою цих манометрів відбувається завдяки іонізації залишкового газу і визначення іонізаційного струму, що буде мірою молекулярної концентраціі, тобто тиску газу. Очевидно, що збільшення струму буде відповідати зростанню тиску.
Іонізаційний манометр, як і термопарний, складається з двох частин: вимірювальної і датчика. Датчик – це скляна лампа – перетворювач манометричний іонізаційний (ПМІ – 2), має вигляд (рис. 15.5) скляної колби 1, що закінчується трубкою 2, через яку приєднується до вакуумної системи. У середині колби впаяні три електроди: вольфрамовий катод 3, розміщений на осі колби у вигляді петлі з двома відводами 4, анод – молібденова сітка у вигляді біфілярної спіралі 5, що охоплює катод і також має два відводи 6, і нікілевий колектор іонів 7 у вигляді циліндра, що охоплює ці електроди і має відвід 8. Два відводи у сітки-анода необхідні для розжарювання її електричним струмом, щоб викликати виділення поглинутих газів як з неї, так і з інших елементів лампи.
|
Підключення іонізаційного датчика можна здійснювати також за схемою рис. 15.6, б, де функцію анода виконує колектор іонів, а іони збираються сіткою 5. Але чутливість манометра при такому підключнні нижча, тому схема за рис. 15.6, а має більше застосування.
З експериментів відомо, якщо тиск газу буде не вище Торр, то відношення іонного струму до електронного буде прямо пропорційним до тиску в манометричній лампі:
. (15.5)
Коефіцієнт пропорційності k визначає чутливість манометра і якщо електронний струм підтримувати завжди на постійній величині, то можна вважати, що
, (15.6)
де – постійна манометра.
|
Градуювальний графік має в головному лінійну залежність (рис. 15.7), але можна бачити, що за підвищених тисків (>Торр) при збільшеному електронному струмі (20 mA) іонний струм зростає швидше ніж тиск. Це пояснюється виникненням лавинної іонізації.
Завдяки лінійній залежності іонізаційного струму від тиску іонізаційні манометри мають високу точність вимірювань у діапазоні тисків - Торр.
До недоліків їх слід віднести можливість руйнування розжареного катода при раптовому проникненні у колбу атмосферного повітря. Руйнування відбудеться завдяки інтесивному бомбардуванні іонами, що будуть утворюватися біля катода. Крім цього приєднувати манометр до вакуумної системи треба через трубку великого діаметра, в супротивному разі газовий розряд, що протікає в манометрі, призведе до поглинання газу електродами, тобто до помітного зниження тиску в ньому в порівнянні з вакуумною системою. Тому перед кожним вимірюванням необхідно провести знегаження елементів манометра інтенсивним електронним бомбардуванням, яке створюють розжаренням спіралі анода.
При вимірюванні низьких тисків (<Торр) з’являються помітні неточності, пов’язані з появою фотоелектронної емісії з колектора іонів, що виникають під дією рентгенівських променів, які випромінює анод внаслідок бомбардування його прискореними електронами. Останній недолік частково усувається зміною конструкціі.
15. 4. Іонізаційний манометр Байярда – Альперта
Щоб точно вимірювати низькі тиски, Байярд і Альперт створили манометр, в якому колектором іонів служить тонкий вольфрамовий дротик 1, оточений сіткою – анодом 2, а катод 3 розміщений зовні сітки (рис. 15.8). Анодну напругу було понижено до 100 В. Усе це було зроблено з метою зниження рентгенівського випромінювання і його дії на колектор іонів.
|
Принцип роботи іонізаційних манометрів використовують для перевірки ступеня вакууму в запаяних вакуумних приладах з не меншим числом електродів.
До загального недоліку іонізаційних манометрів слід віднести чутливість до впливу на виміри тиску наявності зовнішніх електричних і магнітних полів.
15. 5. Радіоактивний манометр ( альфатрон )
Іонізацію молекул газів можна створювати за допомогою радіоактивної речовини, - випромінення якої має постійну інтенсивність і достатнє за величиною (тому друга назва манометра – альфатрон). Спрощена схема вимірювання і будова радіоактивного манометра наведені на рис. 15.9.
|
Іонний струм альфатрона прямо пропорційний тиску, але дуже залежить від природи газу, тому для кожного газу необхідно мати окремий відповідний градуювальний графік. Діапазон вимірювань такий же, як і у манометра опору: (10 – ) Торр.
До позитивних якостей відносяться відсутність розжареного катода, висока міцність конструкції, до негативних – необхідно виконувати запобіжні заходи захисту від дії радіоактивного випромінювання.
15. 6. Груба оцінка вакууму
Ступінь вакууму можна оцінити за видом свічення газового розряду в розрядній трубці.
Найбільш зручною є скляна розрядна трубка 1 з двома електродами 2, що розміщені на відстані приблизно 15 мм один від одного всередині захистних скляних трубок 3 (рис. 15.10). До електродів прикладається високовольтна напруга, яка призводить до виникнення газового розряду, оскільки в трубці буде знаходитися газ після приєднання її до вакуумної системи.
Газовий розряд стає помітним при тиску менше 10 Торр і має вигляд “шнура”, що розміщений на осі трубки і випромінює світло.
Зниження тиску приводить до розширення шнура і при тиску в 1 Торр він заповнює весь поперечний переріз трубки, але яскравість свічення зменшується. Трубка випромінює слабке дифузне світло.
Якщо тиск стає рівним 0,1 Торр, то розряд стає дуже блідим і з’являються світні поперечні смуги (страти).
Свічення газу стає майже непомітним при тиску 0,01 Торр, але під дією бомбардування стінки трубки іонами та електронами з’являється зеленувата або блакитна флуоресценція скла (залежно від складу скла).
Наступне зниження тиску до 0,001 Торр приводить до зникнення будь-якого свічення .
Колір свічення розряду залежить від природи газу. Розряд у повітрі має фіолетовий колір за високих тисків і змінюється на трояндово-фіолетовий при низьких тисках. Неон має жовтогарячо-червоне свічення, ртутна пара – блідо-блакитне, а двоокис вуглецю – темно-блакитне.
|
Залежність кольору свічення від природи газів дозволяє використовувати розрядні трубки для аналізу газів, що знаходяться у вакуумній системі.
Запитання для самоперевірки
1. Поясніть будову і принцип роботи манометра опору.
2. Проаналізуйте рівняння балансу потужностей манометра опору.
3. Поясніть будову і принцип роботи термопарного манометра.
4. Поясніть будову і принцип роботи іонізаційного манометра.
5. Поясніть будову і принцип роботи іонізаційного манометра Байярда-Альперта.
6. Які недоліки теплових та іонізаційних манометрів?
7. Поясніть будову і принцип роботи радіаційного манометра.
8. Як оцінюють ступінь вакууму за допомогою газового розряду?
Лекція шістнадцята
ВИМІРЮВАННЯ ПАРЦІАЛЬНИХ ТИСКІВ
На роботу вакуумних приладів, у тому числі газорозрядних джерел світла, дуже впливає не тільки ступінь вакууму, створеного в них, але також склад залишкових газів.
Від того, які гази і їх кількість залишилися в електронному вакуумному приладі залежить якість та надійність його роботи. Тому виникла необхідність аналізу залишкових газів і оцінки їх парціальних тисків при виготовлені таких приладів. Визначити молекулярний склад залишкової суміші газів і оцінити тиск окремої складової можна за допомогою мас-спектрометричних аналізаторів. Принцип роботи таких газоаналізаторів базується на іонізаціі газів залишкової суміші в приладі та наступного розподілу отриманих іонів за їх масою. Залежно від фізичних ефектів, що використовуються, такі аналізатори поділяються на:
а) мас-спектрометри з магнітним розподілом іонів - використовується залежність радіуса кривизни траєкторіі позитивних іонів, що рухаються у постійному магнітному полі, від співвідношення заряда іона e до його маси m;
б) омегатрони – мас-спектрометри, в яких використовується залежність резонансної частоти коливань іонів у змінному електричному і постійному магнітному полі від співвідношення e / m;
в) хронотрони – газоаналізатори, в яких використовується залежність часу прольоту іонів однакової відстані від їх маси, - а також інші.
16. 1. Мас-спектрометри з магнітним розподілом іонів
|
Герметизовану камеру мас-аналізатора спочатку ретельно знегажують прогріванням з одночасним здійсненням відкачки до тиску не вище Торр,апотімнапускають до неї залишкові гази, які необхідно проаналізувати.
|
На рис. 16.1, б наведено мас-аналізатор з секторним магнітним полем (кут відхилення дорівнює 60або може бути 90), в якому пучок іонів фокусується завдяки розміщенню вихідної щілини джерела іонів 1, вершини секторного поля та вхідної щілини колектора 3 на одній прямій 6, а головний іонний промінь падає перпендикулярно до межі секторної області 2. Мас-аналізатори можуть мати кут відхилення також більше ніж 180.
Робота з мас-аналізаторами потребує відповідного досвіду, щоб впевнено розрізняти складові суміші, які можуть мати однакові іонні масові числа; наприклад, такі гази як СО і Nмають масове число 28 а.о.м. Розрізнення проводять за допомогою аналізу додаткових супровідних невеликих піків струму, що створюються дисоційованими іонами цих речовин і які вже не співпадають.
Для застосування мас-аналізаторів у високовакуумних системах необхідно щоб вони мали: а) можливо більшу чутливість, тобто помітний іонний струм за даним парціальним тиском; б) достатню розрізнювальну здатність – відношення М/М, деМ- ширина піка (в одиницях масових чисел) на половині його висоти; в) можливість приєднання до відповідного місця у вакуумній системі. Для використання розглянутого мас-спектрометра необхідно застосовувати досить складне технічне оформлення, тому були розроблені більш прості й зручні пристрої, що отримали назву динамічних мас-аналізаторів, до яких належать омегатрон і тропатрон
– Конец работы –
Эта тема принадлежит разделу:
ХАРКІВСЬКА НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ МІСЬКОГО ГОСПОДАРСТВА... Є В ШЕПІЛКО... КОНСПЕКТ ЛЕКЦІЙ З КУРСУ ЕЛЕКТРОТЕХНОЛОГІЧНІ УСТАНОВКИ...
Если Вам нужно дополнительный материал на эту тему, или Вы не нашли то, что искали, рекомендуем воспользоваться поиском по нашей базе работ: Методи градуювання манометра Мак-Леода
Если этот материал оказался полезным ля Вас, Вы можете сохранить его на свою страничку в социальных сетях:
Твитнуть |
Новости и инфо для студентов