СОДЕРЖАНИЕ Введение 3 Синтез углеродных алмазоподобных пленок ионным методом 3 Метод ионно-лучевого осаждения 3 Описание установки 6 Характеристики ионного источника 8 Синтез алмазных пленок при взаимодействии низкотемпературной плазмы с поверхностью молибдена 10 Экспериментальная установка 11 Литература 13 ВВЕДЕНИЕ Алмаз - самый твердый материал из всех ныне известных, и в наименьшей степени, чем какой-либо другой материал, поддается сжатию.
Алмаз обладает также большой теплопроводностью при комнатной температуре, и если в нем нет дефектов и посторонних включений, это один из самых прозрачных для видимого света материал. Свойства алмаза обусловлены его необычной кристаллической структурой. Помимо чисто научного интереса необычные свойства алмаза делают его весьма полезным для технических целей. Этот драгоценный камень широко используется как абразив в промышленности, в промышленности, как режущий инструмент в хирургии и как теплоотвод в электронных приборах.
Установлено, что алмазы, содержащие различные примеси, ведут себя как полупроводники. Но природные кристаллы слишком малы и дороги для практического применения. Сейчас положение в этой области исследования меняется. В течении последних лет специалисты разработали немало технологических приемов осаждения алмазных пленок толщина которых лежит от сотен ангстрем до нескольких миллиметров.
Синтез алмазных и алмазоподобных пленок является актуальной задачей на сегодняшний день. Тонкие алмазные пленки привлекают к себе все большее внимание благодаря таким уникальным свойствам, как чрезвычайно высокая твердость, высокая теплопроводность, прозрачность в широком оптическом диапазоне, большое удельное сопротивление. Кроме того, алмазные пленки со специально введенными примесями могут использоваться в качестве полупроводниковых материалов. В большинстве случаев специфические свойства пленок обусловливаются различными типами дефектов, многие из которых могут быть обнаружены с помощью ЭПР. Однако их идентификация сталкивается с огромными трудностями, поскольку микрокристаллиты в этих пленках, как правило, частично ориентированы. Более определенными в этом отношении оказываются полностью неупорядоченные поликристаллические алмазы, карбонадо.
ССМ изображение алмазоподобной пленки на поверхности стекла. Размер скана 286x280 нм.
Синтез углеродных алмазоподобных пленок ионным методом.
Основные достоинства рассматриваемого метода - высокая точность и возм... Со стороны анода в ускоритель поступает поток ионов, которые создаются... Воздействовать на степень того или иного эффекта можно различными путя... Принципиальная схема цилиндра Фарадея показана на рис.2. Рис.2 Зонд для измерения плотности тока..
Описание установки.
Схема используемой установки для напыления пленок показана на рис.3. В рабочий откачиваемый объем помещен источник ионов (1), формирующий поток ионизированного газа. Перед соплом источника крепится подложка (2) - пластина монокристалла кремния, нагреваемая пропусканием постоянного тока. Рис.3 Схема установки. Температура подложки определялась по температурной зависимости сопротивления кремня, измеренной в ходе предварительной работы.
Важно определить температуру поверхности на начальной стадии роста, ко... При работе с ионным источником необходимо знать его характеристики. Такой подход позволит лучше понять механизм зарождения алмазной плёнки... Тем не менее возникают вопросы, связанные с точностью измерения темпер... СИНТЕЗ АЛМАЗНЫХ ПЛЁНОК ПРИ ВЗАИМОДЕЙСТВИИ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ С ...
При электронно-графическом исследовании на просвечивающем микроскопе "... Схема экспериментальной установки. . 1. В качестве материала подложки использовали молибденовые цилиндры (высо... Установка позволяет провести исследования при известных [6-14] условия...
Литература 1. АЛМАЗ в электронной технике. Сборник статей. Отв. ред. В.Б. Квасков. Москва, Энергоатомиздат. 1990 г. 245стр. 2. Рассеяние света в твёрдых телах. Под. ред. М. Кардона и Г. Гюнтеродта// Вып. 3, М.: Мир, 1985. 3. В.А. Черепанов, А.С. Золкин, Б.А. Колесов, К.Т. Мурзахметов, B.И. Семёнов. АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ГРАНУЛИРОВАННЫЕ ПЛЁНКИ НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫЕ ПРИ ГОРЕНИИ АЦЕТИЛЕНА. http://www.nsu.ru/cgi-in/psj?fname=http: //src.nsu.ru/win/journals/phys_stud/arti cles/paper5.html.