1. Прекращена подача электроэнергии в плазмотрон.
В реактор будет поступать только плазмообразующий газ и жидкий аргон для закалки, процесс прекратится. Аварийный сигнал поступает на пульт оператора, процесс останавливается.
2. Неисправность изоляции плазмотрона или подводящих проводников приведет к поражению людей электрическим током. Необходимо установить регулярный контроль за состоянием изоляции и проводников, а в случае неисправности — отключить от сети.
3. Протечка реагентов в окружающую среду может привести к поражению людей. Нужно по возможности приостановить процесс, водопроводной водой обеспечить смыв нитрида кремния, оказать помощь пострадавшим, в случае, если такие имеются.
4. Перегрев корпуса при нарушении футеровки.
Отключить установку от электросети, произвести ремонт или замену футеровки.
5. Ошибка персонала при замене или эксплуатации баллонов с жидким аргоном может привести к резкому разрежению баллона и возможному отравлению аргоном. В этом случае необходимо проветрить помещение и оказать первую медицинскую помощь пострадавшему.