Молекулярний насос Гольвека

 

Перші молекулярні насоси Геде були пізніше суттєво удосконалені. У 1922 р. Гольвек сконструював насос (рис. 11.8), що складався з ротора 1, поверхня якого була добре відполірована, і статора 2. Проміжок між ротором і статором не перевищував 0, 03 мм. У статорі були зроблені гвинтові канали прямокутної форми, глибина яких поступово зростала від кінців, де вона дорівнювала 0, 5 мм., до центра з глибиною 12 мм. Канали являють собою дві спіралі з взаємно зворотним напрямом і розходяться від середини насоса в протилежні боки. Ротор був на одній осі з ротором 3 електродвигуна, герметизованого від зовнішнього середовища газонепроникною камерою 4 і приводився до руху полем статора – індуктора 5.

При обертанні ротора високий вакуум створюється на впускному отворі 6, що розміщений в центральній частині стотора, а підвищений тиск - на випускному отворі 7 з кінців ротора.

 

 

При довжині ротора 220 мм і діаметрі 150мм, насос приводився в рух електродвигуном, що мав потужність 10 Вті швидкість обертання 75 об/с. При цьому швидкодія насоса була майже постійною в межах від 0, 1Торр до 0, 001Торр і складала 2, 5 л/с; граничний тиск ~ 10Торр, необхідне попереднє розрідження – 20 Торр.

11. 10. Насос Зігбана

 

Пізніше (1926 –1946 рр.) Зігбаном був розроблений та удосконалений Гонде насос, ротор якого був у вигляді полірованого диска 1, розміщеного між вузькими прямокутними каналам для газу, що мали вигляд спіралей на поверхні статора 2 з обох боків ротора (рис. 11.9). Високий вакуум створювався при роботі насоса на впускному отворі 3, а підвищений тиск – на випускному 4. Насос мав значно більшу швидкодію ніж розглянутий вище.

11. 11. Турбомолекулярні насоси

Широке розповсюдження набули молекулярні насоси, в яких потік відкачуваного газу і зворотній потік рухаються у взаємноперпендикулярних напрямах. Конструктивно такий насос нагадує турбіну.

Турбомолекулярний насос (рис. 11.10 а ) складається з циліндричної камери, в якій закріплені нерухомо елементи статора у вигляді тонких дисків 1, що мають товщину в декілька міліметрів. Ряд таких же дисків 2 паралельно розміщено на валі ротора, причому як між кожними паралельними поверхнями роторних і статорних дисків, так і в радіальному напрямі між статором і ротором існує зазор в 1 мм.