8.1 Основная литература
1. Пасынков В.В. Полупроводниковые приборы: учебное пособие для вузов / В.В.Пасынков, Л.К.Чиркин .— 8-е изд., испр. — СПб. : Лань, 2006 .— 480с. : ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература) .— ISBN 5-8114-0368-2 /в пер./ : 154.22.
2. Пасынков В.В. Полупроводниковые приборы : учебник для вузов / В.В.Пасынков, Л.К.Чиркин .— 6-е изд., стер. — СПб. : Лань, 2002 .— 480с. : ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература) .— ISBN 5-8114-0368-2 /в пер./ : 120.75.
3. Герасименко Н. Н. Кремний - материал наноэлектроники : учеб. пособие для вузов / Н. Н. Герасименко, Ю. Н. Пархоменко .— М. : Техносфера, 2007 .— 352 с. : ил. — (Мир материалов и технологий) .— Библиогр. в конце гл. — ISBN 5-94836-101-2 ((в пер.)) : 198.80.
8.2 Дополнительная литература
1. Неволин В.К. Зондовые нанотехнологии в электронике : учеб. пособие для вузов / В.К. Неволин .— 2-е изд., испр. и доп. — М. : Техносфера, 2006 .— 160с. : ил. — (Мир электроники) .— Библиогр. в конце кн. — ISBN 5-94836-098-9 /в пер./ : 130.91
2. Киреев В.Ю. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / В.Ю.Киреев, А.А.Столяров .— М. : Техносфера, 2006 .— 192с. : ил. — (Мир электроники) .— Библиогр. в конце кн. — ISBN 5-94836-039-3 /в пер./ : 116.29
3. Драгунов, В.П. Основы наноэлектроники : учеб. пособие для вузов / В.П. Драгунов, И.Г. Неизвестный, В.А. Гридчин .— 2-е изд., доп. — М. : Логос, 2006 .— 496с. : ил. — (Новая университетская библиотека) .— Библиогр.в конце гл. — ISBN 5-98704-054-Х (в пер.) : 271.00 (2 шт)
4. Лозовский, В.Н. Нанотехнология в электронике. Введение в специальность : учеб. пособие для вузов / В. Н. Лозовский, Г. С. Константинова, С. В. Лозовский .— СПб. ; М. ; Краснодар : Лань, 2008 .— 416 с. : ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература) .— Библиогр. в конце кн. — ISBN 978-5-8114-0827-6 (в пер.) : 269.94.
5. Головин, Ю.И. Введение в нанотехнологию : учеб. пособие / Ю. И. Головин .— М. : Машиностроение-1, 2003 .— 112 с. : ил. — ISBN 5-94275-074-2 : 30.00.
6. Старостин, В. В. Материалы и методы нанотехнологии : учеб. пособие / В. В. Старостин ; под общ. ред. Л. Н. Патрикеева .— М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008 .— 432 с. : ил. — (Нанотехнология) .— Библиогр. в конце кн. — ISBN 978-5-94774-727-0 (в пер.)
7. Мартинес-Дуарт, Д.М. Нанотехнологии для микро-и оптоэлектроники / Д. М. Мартинес-Дуарт, Р. Д. Мартин-Палма, Ф. Агулло-Руеда ; пер. с англ. А. В. Хачояна ; под ред. Е. Б. Якимова .— М. : Техносфера, 2007 .— 368 с. : ил. — (Мир материалов и технологий) .— Библиогр. в конце гл. — ISBN 978-594836-126-0 (в пер.) : 450.00 .— ISBN 0-080-44553-5(англ.)
8. Коледов, Л.А. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок : учеб. пособие для вузов / Л. А. Коледов .— 2-е изд., испр. и доп. — СПб. ; М. ; Краснодар : Лань, 2008 .— 400 с. : ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература) .— Библиогр. в конце докл. — ISBN 978-5-8114-0766-8 (в пер.) : 357.06.
8.3 Периодические издания
1. Chip news. Инженерная микроэлектроника: научно-технический журнал. М., . ISSN 0234-8209
2. Компоненты и технологии.- Санкт-Петербург.: Издательство «Файнстрит»
3. Электронные компоненты.- М.: "Электроника
4. Измерительная техника.-М.: Издательство Стандартов
5. Нано- и микросистемная техника-М.: Новые технологии
8.4 Программное обеспечение и Интернет-ресурсы
В процессе изучения курса используется следующее программное обеспечение:
1. Mathcad
2. Matlab
и Интернет-ресурсы:
3. http://library.tsu.tula.ru/ - научная библиотека Тульского государственного университета
4. http://abc.vvsu.ru - сайт цифровых учебно-методических материалов Центра Образования ВГУЭС
5. http://aonb.ru – архангельская областная научная библиотека им. Н.А. Добролюбова
6. http://edu.ru – федеральный портал «Российское образование»
7. http://iqlib.ru – электронно-библиотечная система
8. http://studyspace.ru – общедоступное хранилище знаний StudySpace
9. http://elibrary.ru – научная электронная библиотека eLibrary
8.5 Методические указания к лабораторным занятиям