Технология насыщения металлических изделий в азотсодержащем вакууме (примерно 0,01 атм.), в котором возбуждается тлеющий электрический разряд. Анодом служат стенки камеры нагрева, а катодом — обрабатываемые изделия. Для управления структурой слоя и механическими свойствами слоя применяют (в разные стадии процесса):
· изменение плотности тока
· изменение расхода азота
· изменение степени разряжения
· добавки к азоту особочистых технологических газов:
· водорода
· аргона
· метана
· кислорода.