При роботі в безконтактному режимі пьезовібратором збуджуються коливання зонда на деякій частоті (найчастіше, резонансної). Сила, що діє з боку поверхні, призводить зрушенню амплітудно-частотної і фазово-частотної характеристик зонда, і амплітуда і фаза змінюють значення.
Система зворотного зв'язку, як правило, підтримує постійної амплітуду коливань зонда, а зміна частоти і фази в кожній точці записується. Однак можливе встановлення зворотного зв'язку шляхом підтримання постійної величини частоти або фази коливань.
Переваги методу:
Недоліки методу: