В развитии измерительных информационных систем можно отметить ряд поколений.
Первое поколение — формирование концепции ИИС: системная организация совместной автоматической работы средств получения, обработки передачи количественной информации. Системы первого поколения — это системы в основном централизованного циклического получения измерительной информации с элементами вычислительной техники на базе дискретной полупроводниковой техники. Этот этап (конец 1950-х — начало 1960-х гг.) принято назвать периодом детерминизма, так как для анализа в ИИС использовался хорошо разработанный аппарат аналитической математики.
Второе поколение (1970-е гг.) — использование адресного сбора информации, обработка информации с помощью встроенных ЭВМ. Элементную базу представляют микроэлектронные схемы малой и средней степени интеграции. Этот период характерен решением целого ряда вопросов теории систем в рамках теории случайных процессов и математической статистики, поэтому его принято называть периодом стохастичности.
Третье поколение характеризуется широким введением в ИИС БИС, микропроцессоров и микропроцессорных наборов, микро-ЭВМ и промышленных функциональных блоков, совместимых между собой по информационным, метрологическим, энергетическим и конструктивным характеристикам; созданием распределенных ИИС. Этот период характерен тем, что появилось адаптивные ИИС.
Четвертое поколение — появление гибких перестраиваемых программируемых ИИС в связи с развитием системотехники и вычислительной техники.
В элементной базе резко возрастает доля интегральных схем большой и сверхбольшой степени интеграции.
Пятое поколение набирает силу и входит в жизнь народного хозяйства — это интеллектуальные и виртуальные измерительные информационные системы, построенные на базе ПЭВМ и современного математического и программного обеспечения.