Анализ основных состовляющих погрешности измерения перемещений. Физическими пределами, ограничивающими точность измерения, являются погрешность измерения фазы интерференционного сигнала и относительная погрешность длины волны лазера. Дифференцируя выражение 2, максимальную погрешность изме- рения расстояния можно записать следующим образом 6 При измерении малых расстояний ближней зоны L 24 L определяется только погрешностью. При измерении больших расстояний дальней зоныL 24 L определяется величиной. В остальных случаях необходимо учитывать оба слагаемых в 6. Длина волны лазера в воздухе вакn, где вак - длина вол- ны лазера в вакууме, n - показатель преломления воздуха.
Поэтому погрешность длины волны содержит две составляющие 7 где вак - погрешность воспроизведения длины волны лазера в ва- куме, n - погрешность измерения показателя преломления воздуха.
Таблица 1 nnЛазер СО2Лазер He-NeЛазерный диод 10-4 10-8 10-9 10-6 10-7 В табл. 1 приведены минимальные значения погрешностей, достигнутые на практике в ЛИС . В 1990 г. на международном симпозиуме Измерение размеров в процессе производства и контроля качества для промышленного при- менения ЛИС физическими пределами, ограничивающими точность изме- рений, было принято считать относительную погрешность длины вол- ны лазера в вакууме 10-10 показатель преломления воздуха - 10-8 а физическими пределами точности измерения длины 0.01 мкм для больших расстояний и 1 нм - для малых. 3.2