Электрические свойства SiGe сплавов

Электрические свойства SiGe сплавов. Сплавы, которые исследовал Levitas 2, были приготовлены методом изотермической кристаллизации и не подвергались термообработке.

Концентрация примесей в них не превышала 1014 атсм2. Образцы, кроме содержащих 1 и 4 Si, были поликристаллическими.

Измерения удельного сопротивления проводились в интервале температур 300.800 K, эффекта Холла в диапазоне 77 300 K. Были проведены также измерения для проверки зависимости ширины запрещнной зоны от состава сплавов.

Данные были скомбинированы между собой для получения зависимости Холловской подвижности от температуры, при этом была обнаружена аномальная зависимость подвижности от температуры для сплавов с 61 и 72 Si. Вблизи 300 K кривые могут быть неплохо приближены отношением. Кривые собственного сопротивления могут быть представлены законом излом зависимости ширины запрещнной зоны и собственного удельного сопротивления от состава сплава Levitas сгладил при аппроксимации зависимостей.

Было показано, что зависимость удельного сопротивления от ширины запрещнной зоны не всегда очевидна, так как зонная структура сплавов не меняется линейно в зависимости от состава и присутствует аномальное рассеивание, обусловленное легированием. Чтобы проверить существование рассеяния, обусловленного легированием, была исследована высокотемпературная часть кривых подвижности см. рис. 6. В этом интервале около 300 К значительно снижается влияние примесей и границ зрен. На полученных зависимостях заметны аномалии в областях концентраций Si более 60 ат.