Вторичная электрическая эмиссия

Вторичная электрическая эмиссия. Вторичная электронная эмиссия, испускание электронов поверхностью тврдого тела при е бомбардировке электронами.

Открыта в 1902 немецкими физиками Аустином и Г. Штарке. Электроны, бомбардирующие тело, называются первичными, испущенные - вторичными.

Часть первичных электронов отражается телом без потери энергии упруго отражнные первичные электроны, остальные - с потерями энергии неупруго отражнные электроны, расходуемой в основном на возбуждение электронов тврдого тела, переходящих на более высокие уровни энергии. Если их энергия и импульс оказываются достаточно большими для преодоления потенциального барьера на поверхности тела, то электроны покидают поверхность тела истинно вторичные электроны.

Все три группы электронов присутствуют в регистрируемом потоке вторичных электронов. Количественно В. э. э. характеризуется коэффициентом В. э. э. iвтiп, где - iвт ток, образованный вторичными электронами, iп - ток первичных электронов, коэффициент упругого r iriп и неупругого iзiп отражения электронов, а также коэффициентом эмиссии истинно вторичных электронов iдiп ir, iз, iд - токи, соответствующие упруго отражнным, неупруго отражнным и истинно вторичным электронам, iвт ir iд iд. Коэффициент, r, з д ависят как от энергии первичных электронов Eп и угла их падения, так и от химического состава, метода изготовления и состояния поверхности облучаемого образца.

В металлах, где плотность электронов проводимости велика, образовавшиеся вторичные электроны имеют малую вероятность выйти наружу. В диэлектриках, где концентрация электронов проводимости мала, вероятность выхода вторичных электронов больше. Вместе с тем вероятность выхода электронов зависит от высоты потенциального барьера на поверхности.

В результате у ряда неметаллических веществ окислы щлочноземельных металлов, щелочно-галоидные соединения 1. У специально изготовленных эффективных эмиттеров интерметаллические соединения типа сурьмяно-щелочных металлов, специальным образом активированные сплавы CuAlMg, AgAlMg, AgAlMgZi и др. s 1. У металлов же и собственных полупроводников значение сравнительно невелико. У углерода сажи и окислов переходных металлов 1 ,и они могут применяться как анти эмиссионные покрытия. 4.4.