Пъезокерамики и пьезоэлектрические полимеры. В датчиках из пьезоэлектрических материалов напряжения или деформации приводят к появлению электрического заряда на двух поверхностях, что проявляется в виде разности электрического потенциала (рис.2.17). Наиболее широко применяют циркониевые и титановые пьезоэлектрические керамики.
На втором месте стоят пьезоэлектрические полимеры, как правило ПВДФ. Кроме них, используют пьезоэлектрики из титаната бария, ниобата лития и окиси цинка. Пьезоэлектрические сенсорные системы можно использовать совместно с МЭМС и оптоволоконными датчиками. Отметим, что они могут решать обратную задачу, преобразуя электрическое поле в механическое напряжение, возбуждая ультразвуковую волну.
Пьезоэлектрические полимеры наносят на волокна для измерения величины электрического поля, а некоторые материалы, преимущественно окись цинка, используют как источники и датчики ультразвука совместно с МЭМС. Кристаллические пьезоэлектрики вроде ниобата лития и пьезокерамик также использовали в качестве источников и датчиков ультразвука в не слишком маленьких МЭМС. В интеллектуальных системах пьезоэлектрики применяют в следующем качестве: • детекторов давления или деформации, обычно пьезокерамических; • датчиков, дающих интегральную информацию о поведении целой области.
Как правило, их делают из пьезополимера; • сенсоров, которые с помощью микроканалов связи информируют о давлении во многих точках поверхности. Для этого используют полимерные пленочные пьезоэлектрики. Отметим, что в настоящее время область применения пъезоэлектри-ков интенсивно расширяется. 1.3.4.