Лекция 2 - Закономерности образования и роста покрытий, формируемых из газовой фазы. Стадии и механизмы роста покрытий при их осаждении из газового потока
Лекция 2. Закономерности образования и роста покрытий, формируемых из газовой фазы. Стадии и механизмы роста покрытий при их осаждении из газового потока.
Образование адсорбционной фазы и зародышей конденсированной фазы. Теории зародышеобразования. Кинетика адсорбции. Критические параметры конденсации.
Аналитическое описание кинетики конденсации. Релаксационное уравнение конденсации.
Элементарные процессы, протекающие на поверхности при образовании покрытий, в значительной степени зависят от условий и режимов формирования… 1. Давления остаточных газов в вакуумной камере. Достаточно обосновано… 2. Плотности потока падающих на поверхность атомов j. При возрастании j, как правило, происходит более интенсивное…
Адсорбция и Образование зародышей
Ŵ= nа/tа,
где tа=tоexp(Eа/kT)– время жизни в адсорбированном состоянии, tо=10-13…10-12с;… Тогда изменение плотности адсорбированных атомов за дифференциальное малое время dt