НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ методом химических Транспортных реакций
Лекция 9. НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ методом химических
Транспортных реакций
Методом химических транспортных реакций (ХТР) осаждают покрытия вольфрама, молибдена, ниобия и других тугоплавких металлов, которые получить другими… Суть метода ХТР заключается в следующем. В качестве исходного материала…
Типовой технологический процесс осаждения покрытия методом ХТР включает последовательное проведение следующих основных этапов:
1) подготовка реагентов, технологических смесей. Проводится путем испарения… 2) подвод реакционной смеси к поверхности нагретой детали и проведение химической реакции осаждения покрытия;