Основные этапы технологии ИМС

Основными этапами изготовления ИМС являются:

· получение чистого полупроводникового материала;

· выращивание из него монокристаллических слитков с заданными электрофизическими свойствами;

· изготовление из слитков полупроводниковых пластин;

· получение на основе пластин базовых полупроводниковых структур (обычно используются эпитаксиальные структуры);

· формирование элементов ИМС в эпитаксиальном слое полупроводниковой структуры;

· изготовление ИМС в виде отдельных законченных изделий.