Тензорезистор – это полупроводниковый резистор, в котором используется зависимость электрического сопротивления от механической деформации.
Назначение – измерение давлений и деформаций.
Принцип действия полупроводникового тензоризистора основан на тензорезистивном эффекте – на изменении электрического сопротивления полупроводника под действием механических деформаций.
Для изготовления тензорезисторов чаще всего используют кремний с электропроводностью n- и p-типов. Заготовки такого кремния режут на мелкие пластинки, шлифуют, наносят контакты и присоединяют выводы.
Основные параметры тензорезисторов:
1. Номинальное сопротивление тензорезистора – это сопротивление без деформации при t = 200C (обычно оно имеет величину от нескольких десятков до нескольких тысяч Ом);
2. Коэффициент тензочувствительности – отношение относительного изменения сопротивления к относительному изменению длины тензорезистора:
.
Для различных тензорезисторов К лежит в пределах от −100 до +200;
3. Предельная деформация тензорезистора.
Деформационная характеристика – это зависимость относительного изменения сопротивления тензорезистора от относительной деформации.
Рисунок 2.3 – Деформационные характеристики тензорезисторов из кремния с электропроводностью р- и n- типов