Автоматизация измерения НЧ шумов полупроводниковых приборов и интегральных схем

Автоматизация измерения НЧ шумов полупроводниковых приборов и интегральных схем. Исследования НЧ шумов различных элементов РЭА проводится давно.

Но с каждым годом разрабатываются все новые элементы РЭА. Меняется подчас элементная база РЭА, создаются новые технологии производства и контроля РЭА. В настоящее время считается целесообразным автоматизировать процесс измерения и контроля параметров элементов РЭА для отбраковки непригодных элементов и сокращения времени контроля. По 3 предлагается в целях повышения качества выпускаемой продукции предприятий электронной промышленности разработать и внедрить автоматические системы управления технологическим процессом АСУТП. В качестве одной из подсистем АСУТП использовать контроль технологического процесса производства ППП диоды, транзисторы, тиристоры, интегральные сборки и т. д. по уровню НЧ шума. Считается, что этот метод универсален именно для ППП, т.к. все они состоят из различных структур с одним и более p-n переходами.

В настоящее время широкое внедрение и распространение получили АСУТП с применением компьютерных технологий и компьютерной техники.

Предлагается следующая функциональная схема для одноразового измерения НЧ уровня шумов ППП. От звукового генератора подается напряжение Uг определенной частоты от 20 Гц до 1 кГц, которое коммутируется через переключающий блок на одну из схем включения образцов.

Для каждого подвида ППП диод, транзистор, тиристор, интегральная сборка своя схема включения. Переходной блок определяет от какой из схем включения идет сигнал и на выходе выдает напряжение Uх, которое проходит через узкополосный селективный усилитель, на выходе которого получаем напряжение шума Uш на частоте, заданной звуковым генератором. Величина напряжения шума фиксируется на табло цифрового вольтметра, который связан с компьютером шиной данных.

В компьютере заложены данные по среднему значению шума Gср и дисперсии D на каждый тип ППП, проходящий контроль. При этом учитывается, что Gср определяется по 22 и уровень отбраковки потенциально ненадежных ППП определяется статистической обработкой данных. Исполнительное устройство работает от команд компьютера. При обнаружении потенциально ненадежного ППП, в процессе контроля, компьютер дает команду на изъятие исполнительному устройству элемента из выборочной партии.

На компьютер так же поступает информация от переключающего блока, которая автоматически программой в компьютере устанавливает данные для контроля каждого из подвидов ППП. Малошумящий источник питания необходим для наиболее важных узлов схемы включения образцов и узкополосного селективного фильтра. От качества напряжения малошумящего источника питания зависит качество полученных результатов измерения и в конечном итоге качество контроля ППП. 7.