Технология получения столбчатого мультикремния из кремния полученного методом карботермического восстановления

Технология получения столбчатого мультикремния из кремния полученного методом карботермического восстановления. В этом году институтом Геохимии СО РАН проводились работы по совершенствованию методик очистки кремния.

Было использовано 1Другое сырье, синтезировалось в других условиях Ирказ, где установлена специализированная печь для получения поликристаллического кремния. 2Институт применял метод рафинирования двойная перекристаллизация методом Стокбаргера. 3Получены данные химического анализа как для сырья, так и для полученных образцов, что позволяет говорить о степени очистки и судить о примесях которые определяют происходящие процессы и механизмы рассеяния в полупроводнике. 4 Необходимое дробление материла можно осуществлять разными методами, но неизбежно одно, что при использовании, скажем стального молотка, в образце растет концентрация Fe. В связи с этим, для дробления был использован молибденовая насадка для пресса, молибдена мало в исходном материале, то есть его появление можно обосновать используемой в технологическом процессе насадкой. 5 Очистка кремния методом вакуумной сублимации. В атмосфере 10-3 Тор осуществляется нагрев в ростовой печи происходит испарение примесей t плав. которых меньше t плав. кремния. 1450С. Дальше доводят температуру в печи до температуры плавления и выдерживают некоторое время для испарения более тугоплавких примесей.

Затем температуру поднимают на отметку 50-70С выше температуры плавления для испарения еще более тугоплавких примесей и выдерживают в этом режиме некоторое время.

Скорость роста при этом лежит около 0.8 смчас.

Рис.1 После роста, получаем кремний, который имеет области монокристалличности схематично изображенные на рис.1. Это так называемый, столбчатый мультикремний. 2.