Микромеханические гироскопы (ММГ)
Достоинствами ММГ являются малые габариты (от единиц до долей миллиметра) и масса, малое энергопотребление, устойчивость к большим перегрузкам, низкая стоимость.
Всё это стало доступным благодаря технологиям производства МЭ. Для систем навигации и управления одним из перспективных датчиков является микрогироскоп, используемый в режиме измерения угловых скоростей. Такой микрогироскоп по своим характеристиками превосходит традиционные гироскопы с вращающимся ротором. Известны различные конструкции этих датчиков, изготавливаемые с помощью методов технологии, адаптированной к производству интегрированных датчиков. Тем не менее, во всех этих датчиках используется один и тот же принцип выявления кориолисовых сил, а именно придание ЧЭ того или иного вида вибрационных перемещений. Основной проблемой создания ММГ с приемлемыми характеристиками является погрешность, вносимая физическими величинами: температура, линейное и угловое ускорение.
Ускорение Кориолиса возникает при движении тела относительно вращающейся системы отсчета. Сила Кориолиса выражается:
,
где - скорость тела;
- угловая скорость вращения системы;
- масса тела.