Другие характеристики травления. Однородному распределению температуры в ванне с реагентом способствует перемешивание. Ультрафильтрация раствора травителя в процессе ЖХТ счищает реагент от остатков резиста и других твердых частиц, способных блокировать травление.
Во избежание загрязнений бачок с травителем должен быть закрыт и изолирован от другого оборудования. Необходимо тщательно подбирать совместимые с реагентом материалы элементов установок, иначе неизбежны загрязнения и утечки. Для определения момента окончания травления и оценки величины перетравливания удобно одновременно проводить травление дифракционных решеток или элементов с меньшим характерным размером, чем в основном изображении.
Время жизни реагента можно вычислить по стехиометрии химической реакции. Например, для травления 1 моль SiO2 требуется 6 молей HF. Предположим, что надо обработать 25 площади 100-мм пластины в буферном растворе 2М HF с соотношением компонентов 17 соответственно см. рис. 10. В ванне емкостью 8 литров содержится 16 молей HF. SiO2 6HF H2SiF6 2H2O. 41 Полагаем падение скорости травления на 20 предельным, что соответствует уменьшению концентрации HF также на 20 рис.10. Для пленки SiO2 толщиной t0.5 мкм и плотностью вычисляем количество удаленных молей SiO2 Моли SiO2 r2 t SiO2 3.1425 см2 510-5 см2.3 гсм360 42 На одну пластину требуется 4.810-4 молей HF, следовательно, в нашей ванне с учетом 20-ного падения скорости это соответствует 3.2 молям HF можно обработать 25000 подложек.
Если производительность установки равна 500 пластин в день, то раствор в танке придется менять раз в 50 дней если пренебречь потерями материала и загрязнениями.