Выявление микроструктуры эпитаксиальных плёнок. Изучение микроструктуры полученных плёнок производили кристаллооптическим методом на микроскопе МИН - 8 с 160 кратным увеличением.
Определяли положение монокристаллических блоков на поверхности подложки, их форму и размеры в зависимости от ориентации подложки. Определение размеров кристаллических блоков проводилось по методике, изложенной в главе 2.8. На каждом образце производилось 25 - 30 замеров.
Результаты усреднялись. В зависимости от ориентации подложки и температуры расплава, получались монокристаллические блоки различной величины и формы. На подложках с ориентацией 100 получались кристаллические блоки вытянутые вдоль оси роста. При уменьшении температуры до 904 С происходило увеличение размеров кристаллических блоков, а при достижении области температур ниже 904 С происходило их нарастание друг на друга рис. 2.9.1 На подложке с ориентацией 111 при прочих равных условиях, кристаллические блоки имели меньшие размеры и не столь явно выраженную направленность. рис. 2.9.2. На рис. 2.9.3 представлен график зависимости средних размеров кристаллических блоков от температуры наращивания.
Рис. 2.9.1 Кристаллические блоки на подложке с ориентацией 100 . Рис. 2.9.2. Мелкие кристаллические блоки на подложке с ориентацией 111 . Рис. 2.9.3 Зависимость средних размеров монокристаллических зёрен от температуры расплава. 3.10