рефераты конспекты курсовые дипломные лекции шпоры

Реферат Курсовая Конспект

Подготовка поверхности подложки к эпитаксии

Подготовка поверхности подложки к эпитаксии - Дипломная Работа, раздел Высокие технологии, Выращивание пленок силленитов легированного Cr203 на подложках Bi12GeO20 и изучения их свойств Подготовка Поверхности Подложки К Эпитаксии. Чистота Поверхности Подло...

Подготовка поверхности подложки к эпитаксии.

Чистота поверхности подложки является решающим фактором для выращивания и адгезии плёнок. Хорошо очищенная подложка является необходимым предварительным условием для получения плёнок с воспроизводимыми свойства.

Как считают авторы 38, выбор метода очистки зависит от природы подложки, типа загрязнений и степени требуемой чистоты обработки. Остающиеся после изготовления и упаковки волокна, отпечатки пальцев, масло и частицы, осаждённые из воздуха, являются примерами часто встречающихся загрязнений. Следовательно, изготовители тонких плёнок должны обращать внимание на необходимость распознавания загрязнений и эффективного их удаления. Эти вопросы, как правило, находят решение с обычными эмпирическими приближениями. Процесс очистки подложки, по мнению 38, требует, чтобы были разорваны связи как между молекулами самой примеси, так и между молекулами этой примеси и подложки.

Это может быть достигнуто не только химическими средствами, например, очисткой растворителем, но и приложением достаточной энергии для испарения примеси, например, нагревом или ионной бомбардировкой. Осуществление методов физической очистки обычно сопровождается установкой оборудования для нагрева подложек или бомбардировки ионами.

Реагентами, используемыми для очистки подложек, служат водные растворы кислот и щелочей, а так же такие органические растворители, как спирты, кетоны и хлористые углеводороды. Эффект очистки кислотами обусловлен превращением некоторых окислов и жиров в растворимые в воде соединения. Щелочные агенты растворяют жиры омыливанием, что делает их смачиваемыми в воде 39. Для повышения скорости и эффективности удаления загрязнения обычно применяется нагрев или звуковое возбуждения растворителя.

Очистка горячим растворителем чаще всего осуществляется обезжириванием паром, т.е. подложка помещается над кипящей жидкостью в закрытом контейнере. Восходящий пар растворителя конденсируется на очищаемом объекте, нагревая его и увеличивая скорость растворения поверхностных загрязнений 40. В то время как отработанный раствор стекает обратно в ванну, свежий и чистый дистиллят повторяет процесс. При ультразвуковой очистке растворение осадка увеличивается интенсивным локальным перемешиванием с помощью ударных волн, создаваемых в растворителе 40. Таким образом, растворитель, насыщенный примесями, непрерывно удаляется с поверхности подложки и на смену ему поступает свежая, менее насыщенная жидкость.

Параметрами, определяющими эффективность ультразвуковой очистки, являются - частота колебаний - приложенная мощность - тип растворителя - температура растворителя - поверхностное натяжение растворителя - вязкость растворителя - наличия ядрообразующих веществ - наличия растворённых газов Сушка отмытых пластин является столь же критичной, поскольку при отсутствии специальных предосторожностей может произойти повторное загрязнение.

Сушка может происходить в паровом очистителе, чистой печи, с помощью горячего фильтрованного воздуха или азота. Для хранения подложек могут использоваться обезпыленные контейнеры с крышкой или эксикаторы. Описанный метод наиболее применим для монокристаллических подложек, используемых при гетероэпитаксиальном наращивании плёнок. Сравнение очистки парами ряда растворителей и ультразвуковой очистки в изопропиловом спирте было проведено Putner 41. Хотя очисткой в парах изопропилового спирта он и получил самые чистые поверхности, всё же ультразвуковое низкочастотное возбуждение оказалось наиболее эффективным для удаления таких крупных загрязнений, как частицы различных материалов и отпечатки пальцев. Обсуждая эти результаты, Holland 42 предположил, что решающим фактором является более высокая температура растворителя и подложки, достигаемая при очистке в парах.

Были подобраны специальные составы для полирующего травления силленитовых подложек 43 конц. HCl глицерин 10 1. 2.4

– Конец работы –

Эта тема принадлежит разделу:

Выращивание пленок силленитов легированного Cr203 на подложках Bi12GeO20 и изучения их свойств

К числу важнейших элементов таких систем относятся оптические модуляторы, дефлекторы, дисплеи, элементы долговременной и оперативной памяти и др. В… В настоящее время значительная часть радиоэлектронных приборов конструируется… Сложные кислородные соединения Bi силленитов типа mBi2O3nMexOy вызывают большой интерес, являясь пьезоэлектриками, …

Если Вам нужно дополнительный материал на эту тему, или Вы не нашли то, что искали, рекомендуем воспользоваться поиском по нашей базе работ: Подготовка поверхности подложки к эпитаксии

Что будем делать с полученным материалом:

Если этот материал оказался полезным ля Вас, Вы можете сохранить его на свою страничку в социальных сетях:

Все темы данного раздела:

Литературный обзор
Литературный обзор. Соединения со структурой силленита. Кристаллы со структурой силленита относятся к пентагонтритетраэдрическому классу I 23 кубической сингонии и принадлежит к пространственной гр

Структура германата висмута
Структура германата висмута. Атомы кислорода О 3 расположены на главных диагоналях элементарной ячейки вокруг Ge, образуя правильный тетраэдр, на что было обращено внимание в работах 6-8 рис

Некоторые физические свойства силленитов
Некоторые физические свойства силленитов. Монокристаллы со структурой силленита, в основном, удовлетворяют требованиям, предъявляемым к электрооптическим и магнитным кристаллам - Высокие про

Требования к материалу подложки
Требования к материалу подложки. Жидкостная эпитаксия отличается от других способов кристаллизации из расплава наличием монокристаллической подложки, на которую кристаллизуется осаждаемое ве

Получение плёнок соединений со структурой силленита
Получение плёнок соединений со структурой силленита. Термин эпитаксия происходит от греческих слов эпи и такси, имеющих значения над и упорядочение. Технологический процесс эпитаксии заключа

Возможность получения плёнок силленита на силлените
Возможность получения плёнок силленита на силлените. Будущие высокоёмкие системы оптической связи, как считают A.A. Ballman и P.K. Tien 44, будут состоять из различных пассивных и активных и

Оптические свойства
Оптические свойства. Перспективность материалов со структурой силленита в значительной степени объясняются электрооптическими свойствами этих кристаллов, то есть сравнительно малой величиной

Выводы из литературного обзора
Выводы из литературного обзора. Сложные кислородные соединения Bi силленитов типа mBi2O3nMexOy вызывают большой интерес, являясь пьезоэлектриками, обладают электрооптическими и магнитооптиче

Выбор материала тигля
Выбор материала тигля. При выращивании монокристаллов силленитов в качестве материала тигля используется платина. Хотя температура плавления германосилленита 930 С, применять керамические, к

Изготовление подложек из монокристаллов Bi
Изготовление подложек из монокристаллов Bi. GeO20 и подготовка поверхности подложек к эпитаксии. Для изготовления подложек, монокристаллы германосилленита распиливали алмазным диском с наружной реж

Нанесения эпитаксиального слоя
Нанесения эпитаксиального слоя. Эпитаксиальные плёнки получали методом окунания монокристаллической германосилленитовой подложки в расплав. Платиновый тигель с шихтой помещали в кристаллизационную

Определение влияния температуры на толщину эпитаксиального слоя
Определение влияния температуры на толщину эпитаксиального слоя. Для приборов магнитооптики требуются плёнки толщиной не менее 20 мкм. На толщину получаемых эпитаксиальных плёнок основное влияние о

Выявление микроструктуры эпитаксиальных плёнок
Выявление микроструктуры эпитаксиальных плёнок. Изучение микроструктуры полученных плёнок производили кристаллооптическим методом на микроскопе МИН - 8 с 160 кратным увеличением. Определяли

Результаты работы и выводы
Результаты работы и выводы. Получены плёнки твёрдого раствора Bi12GeO20 6 мольн. Cr4 со структурой силленита на германосилленитовой подложке. 2. Оптимальными условиями для получения качестве

Экономическая часть
Экономическая часть. ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКОЕ обоснование проведения дипломной работы. В последнее время развитие и совершенствование передовых технологий привело к широкому внедрению достижений науки

Оценка себестоимости лазерного элемента на основе монокристаллической пленки по данным полученным в результате НИР
Оценка себестоимости лазерного элемента на основе монокристаллической пленки по данным полученным в результате НИР. Производство пленочного лазерного элемента состоит из трех основных стадий - нара

Расчет энергетических затрат
Расчет энергетических затрат. ЗЭ М К Т Ц , где ЗЭ - затраты на электроэнергию М - паспортная мощность, кВт К - коэффициент использования мощности 0,7-0,9 Т - время работы прибора, час. Ц - ц

Расчет заработной платы
Расчет заработной платы. Расчет основной заработной платы. Проводится исходя из месячной стипендии и числа отработанных месяцев ЗПИССЛ 250 7 1750 руб. Расчет основной заработной платы

Расчет амортизационных отчислений
Расчет амортизационных отчислений. Амортизационные отчисления рассчитываются по формуле А Ф НА Т 100 12 , где Ф - стоимость оборудования и приборов, т.руб. НА - годовая норма амортизации, составляе

Характеристика применяемых реактивов и препаратов
Характеристика применяемых реактивов и препаратов. GeO2 - белый порошок М tпл 1115С, плотность - 4,7 г. см3. Растворимость в воде составляет 0,4 при 20 С . В щелочах растворяется с образован

Классификация по ПУЭ
Классификация по ПУЭ. По ПУЭ лаборатория относится к классу помещений В-Iб. В помещениях данного класса возможно образование горючих паров и газов, имеющих высокий НКПВ и резкий запах, легко обнару

Меры электробезопасности
Меры электробезопасности. В лаборатории используется переменный ток промышленной частоты 50 Гц, напряжением 220 В. По опасности поражения людей электрическим током лабораторное помещение отн

Производственная санитария
Производственная санитария. Общая площадь лаборатории составляет 42,2 м2, высота - 3,6 м, объем - 151,9 м3. Согласно СН 245-71 объем помещения на каждого работающего должен составлять не мен

Охрана окружающей среды от промышленных загрязнений
Охрана окружающей среды от промышленных загрязнений. ВВЕДЕНИЕ. Одной из проблем, стоящих перед инженером - технологом, является охрана окружающей среды. Решение сегодняшних экологических проблем за

Хотите получать на электронную почту самые свежие новости?
Education Insider Sample
Подпишитесь на Нашу рассылку
Наша политика приватности обеспечивает 100% безопасность и анонимность Ваших E-Mail
Реклама
Соответствующий теме материал
  • Похожее
  • Популярное
  • Облако тегов
  • Здесь
  • Временно
  • Пусто
Теги