Щоб оцінити вологість газів можна використати декілька фізичних величин:
Абсолютна вологість Wa=mв/V,
[Wa]=г/м3 що визначається масою води в одиниці об’єму газу;
Парціальний тиск водяної пари Pw,Па, визначається тиском, котрий мала би водяна пара даного об’єму газу, якщо б він займав весь об’єм V при цій самій температурі;
Температуру точки роси (точку роси) t0 0C-температуру до якої необхідно охолодити вологий газ, щоб він став насиченим;
Масове відношення вологи Wm, визначене відношенням маси вологи до маси сухого газу, кг/кг;
Об’ємну долю вологи, що визначається відношенням об’єму водяної пари до об’єму вологого газу;
Відносну вологість, що визначається відношенням парціального тиску пари до тиску насиченої пари при тих самих тисках і температурі повітря.
Основні складнощі при вимірюванні і регулюванні вологості зв’язані з її функціональною залежністю від температури і парціального тиску водяної пари. Це особливо проявляє себе при зв’язаному регулюванні найважливіших параметрів в СКП, вентиляційних, сушильних і холодильних пристроях. Проблеми також виникають при вимірюванні вологості при мінусових температурах, що визвано дуже низькою пружністю водяної пари, а при контролі і регулюванні вологості пароводяної суміші з високою температурою, наприклад в харчовій промисловості, промислових сушарках, при контролі вологості димових газів.