Студент ____________ Шаповалов Вадим Владимирович
подпись
Преподаватели ассистент, Комлев А.А.
(Руководители) ассистент, Комлев А.А.
Оценка за работу
подпись преподавателя
Санкт-Петербург
Содержание:
Введение………………………………………………………………………………………….3
Основная часть…………………………………………………………………………………...4
Тонкие пленки и их классификация………………………………………….………………...6
Термовакуумное напыление…………………………………………………………………….6
Ионно-плазменные методы получения тонких пленок………………………………………..8
Катодное распыление……………………………………………………………………..……10
Высокочастотное распыление…………………………………………………………………11
Магнетронное распыление……………………………………………………………………..13
Ионно-лучевые методы получения тонких пленок………………………………………......14
Молекулярно-лучевая эпитаксия……………………………………………………………...15
Лазерное распыление…………………………………………………………………………..16
Химические вакуумные методы……………………………………………………………….17
Реактивное катодное распыление……………………………………………………………..17
Жидкофазная эпитаксия………………………………………………………………………..18
Химические вневакуумные методы…………………………………………………………...19
Электрохимическое осаждение покрытий……………………………………………………19
Химическая металлизация……………………………………………………………………..20
Применение пленочных материалов…………………………………………………………..21
Заключение……………………………………………………………………………………...23
Список литературы……………………………………………………………………………..24
Приложение……………………………………………………………………………………..24
Введение.
Современный научно-технический прогресс в значительной степени определяется развитием электроники, основой которой являются успехи фундаментальных наук, в первую очередь химии твердого тела. Последние достижения в этой области связаны с химией наноструктур. На сегодняшний день химия наноструктур - актуальнейшая и наиболее динамично развивающаяся область современной химии твердого тела. Интерес к этой области связан как с принципиально новыми фундаментальными научными проблемами и физическими явлениями, так и с перспективами создания на основе уже открытых явлений совершенно новых устройств и систем с широкими функциональными возможностями для опто - и наноэлектроники, измерительной техники, информационных технологий нового поколения, средств связи и пр.
В последнее время интенсивно развиваются технологии создания композитных материалов. Одним из основных ее достоинств является возможность использования принципиально новых подходов в создании искусственных сред - наноматериалов. Эти материалы проявляют уникальные свойства, существенно отличающиеся от свойств вещества в макроскопическом (объемном) состоянии.
Среди основных составляющих науки о наноматериалах и нанотехнологиях можно выделить следующие: 1) фундаментальные исследования свойств материалов на наномасштабном уровне; 2) развитие нанотехнологий как для целенаправленного создания наноматериалов, так и поиска и использования природных объектов с наноструктурными элементами, создание готовых изделий с использованием наноматериалов и интеграция наноматериалов и нанотехнологий в различные отрасли промышленности и науки; 3) развитие средств и методов исследования структуры и свойств наноматериалов, а также методов контроля и аттестации изделий и полуфабрикатов для нанотехнологий.
Начало XXI века ознаменовалось революционным началом развития нанотехнологий и наноматериалов. Они уже используются во всех развитых странах мира в наиболее значимых областях человеческой деятельности (промышленности, обороне, информационной сфере, радиоэлектронике, энергетике, транспорте, биотехнологии, медицине). Анализ роста инвестиций, количества публикаций по данной тематике и темпов внедрения фундаментальных и поисковых разработок позволяет сделать вывод о том, что в ближайшие 20 лет использование нанотехнологий и наноматериалов будет являться одним из определяющих факторов научного, экономического и оборонного развития государств. Некоторые эксперты даже предсказывают, что XXI века будет веком нанотехнологий ( по аналогии с тем как XIX век называли веком пара, а XX век – веком атома и компьютера).