Исследование дефектности покрытий с помощью оптической и электронной микроскопии.

 

Применяются металлографические и измерительные оптические микроскопы типа BMG-160 “Carl Zeis Jena” , Epiquant, Axiavert, Neophot, МБС-10, сканирующие электронные микроскопы типа Carl ZEISS EVO-50XVP, JSM6610, SU8000 и др.

 

Сквозные поры в покрытии ZrO₂, Капельная фракция в покрытии TiN,

полученном методом МДО нанесенным вакуумно-дуговым методом

 

 

Электронномикроскопические изображения поверхностного слоя медной подложки, подвергнутой поверхностной обработке сильноточным потоком ионов Zr⁺

Получено с помощью просвечивающего Получено с помощью сканирующего

электронного микроскопа JEM-2100 электронного микроскопа EVO-50XVP

высокого разрешения