рефераты конспекты курсовые дипломные лекции шпоры

Реферат Курсовая Конспект

Методы ионного распыления

Методы ионного распыления - Лекция, раздел Строительство, Курс лекций Современные упрочняющие и ремонтно-восстановительные технологии и оборудование. Вакуумное методы осаждения покрытий 2-Й Метод Состоит В Распылении Вещества Бомбардировкой Ускоренными Ионами Пов...

2-й метод состоит в распылении вещества бомбардировкой ускоренными ионами поверхности мишени.

В вакуумную камеру после откачки до давления остаточных газов < 0,005Па напускается рабочий газ аргон до давления от 0,01 до 0,1Па в зависимости от процесса ионизации газа, затем поджигается газовый разряд. При этом молекулы газа диссоциируют на атомы и ионизуются, превращаясь в положительные ионы, которые устремляясь к поверхности мишени, на которую подан потенциал величиной от -300 до -5000В, ускоряются в электрическом поле до энергии 300 - 5000 эВ и бомбардируют поверхность мишени.

В результате соударений металлические атомы из поверхностного слоя мишени выбиваются и, приобретая кинетическую энергию от 0,1 до 100эВ, образуют атомарный поток вещества мишени, распространяющийся нормально от поверхности мишени к поверхности изделия.

Диодная схема распыления.

 

Характеристикой процесса ионного распыления служит коэффициент распыления К (табл.). Так для наиболее часто употребляемых для распыления ионов аргона KAr:

 

Материал мишени Cr Ni Al Cu Ag Au Cd
KAr 1,32 1,86 1,94 3,64 3,8 3,08 11,2

 

Распыление сопровождается эмиссией вторичных электронов, которые ускоряясь в электрическом поле, вызывают дополнительную ионизацию атомов рабочего газа.

Коэффициент распыления определяется энергией и направлениемпадения иона, природой взаимодействующих ионов с атомами, кристаллографической структурой и атомным строением бомбардируемой поверхности. Влияние температуры – незначительно. Распыление твердого и жидкого вещества почти не различается.

Основными преимуществамираспыления являются:

- высокая энергия распыленных атомов, усиливающая адгезию и улучшающая структуру и качество покрытий;

- исключение появления жидкой фазы и соответственно капельной фазы;

- одинаковая способность распыления как чистых металлов, так и сплавов.

 

– Конец работы –

Эта тема принадлежит разделу:

Курс лекций Современные упрочняющие и ремонтно-восстановительные технологии и оборудование. Вакуумное методы осаждения покрытий

Лекция Вакуумное методы осаждения покрытий.. Вакуумное напыление представляет группу способов получения покрытий в которых атомарный поток осаждаемого вещества..

Если Вам нужно дополнительный материал на эту тему, или Вы не нашли то, что искали, рекомендуем воспользоваться поиском по нашей базе работ: Методы ионного распыления

Что будем делать с полученным материалом:

Если этот материал оказался полезным ля Вас, Вы можете сохранить его на свою страничку в социальных сетях:

Все темы данного раздела:

Методы вакуумного напыления покрытий
В соответствии с физическим процессом, лежащим в основе процесса получения атомарного потока вакуумное напыление подразделяется на напыление с помощью термического испарения

Вакуумно-дуговые источники тяжелых металлических ионов
Схематический вид непрерывного дугового источника металлических ионов: 1 – катод, 2 – водоохлаждаемый катододержатель, 3 – электро

Ионная имплантация
Это бомбардировка материалов ионами с высокой энергией, при которой происходит их внедрение в поверхностный слой. В сравнении с ионным распылением данный процесс становится возможным при разгоне ио

Физические основы процесса ионной имплантации
При бомбардировке ускоренными ионами поверхностного слоя металла энергия налетающего иона рассеивается в серии столкновений с атомами его кристаллической решетки. При средних энергиях ионо

Изменение структурно-фазового состояния сталей и сплавов при ионной имплантации
Исследование с помощью просвечивающего электронного микроскопа фольг, приготовленных из поверхностного слоя образцов высокопрочной мартенситной стали 30ХГСН2А, обработанных пучком ионов AlB+, показ

От вида имплантируемых ионов и материала подложки
  Материал подложки Вид имплантируемых ионов Увеличение микротвердости Аl B Ti Cr Fe Со Ni Ст

Дефекты покрытий
При некачественной подготовке поверхности изделий под покрытие, несоблюдении оптимальных режимов напыления и технологии нанесения покрытия, применении некачественных исходных мате

Определение адгезии покрытий
  Второй важной характеристикой покрытий является их адгезия или прочность сцепления покрытия с подложкой, которая равна напряжению отрыва покрытия от подложки. В настоящее время в ми

Определение микротвердости покрытий
  Срок службы деталей машин зависит от износостойкости покрытий, которая в основном определяется их твердостью. Чем больше твердость покрытий, тем выше их износостойкость.

Исследование дефектности покрытий с помощью оптической и электронной микроскопии
  Применяются металлографические и измерительные оптические микроскопы типа BMG-160 “Carl Zeis Jena” , Epiquant, Axiavert, Neophot, МБС-10, сканирующие электронные микроскопы типа Car

Хотите получать на электронную почту самые свежие новости?
Education Insider Sample
Подпишитесь на Нашу рассылку
Наша политика приватности обеспечивает 100% безопасность и анонимность Ваших E-Mail
Реклама
Соответствующий теме материал
  • Похожее
  • Популярное
  • Облако тегов
  • Здесь
  • Временно
  • Пусто
Теги