От вида имплантируемых ионов и материала подложки

 

Материал подложки	Вид имплантируемых ионов	Увеличение микротвердости
Аl B Ti Cr Fe Со Ni Сталь AISI304 Сталь 52100	N+	4,2 4,0 2,9 2,3 1,8 1,4 1,3
Сталь En 8 Сталь 30 Сталь 40Х, сталь ХВГ	N+ , Ne+ N+ , С+ N+	1,5 3,5
Коррозионно-стойкая сталь Сталь 18W-4Cr-1V	B+	1,3 1,8

 

Кривые износа дисков из высокопрочной стали ШХ-15 при скольжении штифта из закаленной стали Р18: 1 – отожженная сталь ШХ-15, 2 – закаленная сталь ШХ-15, 3 – закаленная и имплантированная сталь ШХ-15), š - имплантация титаном; p - имплантация титаном и углеродом; £ - имплантация титаном одновременно с осаждением углерода.

 

 

 

Кривые трения образцов, необработанных и обработанных ионами N+ с энергией 70 кэВ.

Кривые получены с помощью трибометра типа “шарик по диску” при нагрузке – 50 Г.

 

Промышенные ионно-лучевые установки для упрочнения деталей машин: с импульсным пучком - ДИАНА-3, MEVVA, Титан, с непрерывным пучком - ВИТА, Zimet-100