Вещества в зависимости от температуры и давления могут находится в различных агрегатных состояниях. В вакуумной технике могут происходить процессы конденсации, испарения, сублимации и десублимации. Кривая давления насыщенного пара при давлении меньше 100 Па, может быть описана уравнением
, (2.6)
где РТ – давление насыщенного пара при температуре Т; M и N – константы, зависящие от рода вещества.
Достаточно точные значения давления паров различных веществ определены экспериментально, сведены в различные справочники, включая полимеры и т. д.
Давление насыщенных паров, сплавов, приближенно определяется законом Рауля
, (2.7)
где РА – давление насыщенных паров вещества А; РАS – давление насыщенных паров вещества В, является растворителем вещества А; nA и nB – количество молей веществ А и В в растворе.
Массовый поток газа, падающий на единицу поверхности в единицу времени равен
(2.8).
Скорость конденсации
, (2.9),
здесь γ – вероятность конденсации молекулы газа.
Если известна теплота адсорбции φа молекулы на поверхности твердого тела, то коэффициент γ определяется как доля молекул, которых ниже φа.
Используя интегральное распределение молекул по энергиям можно записать
; (2.10).
.
При давлении насыщенного пара на поверхности существует динамическое равновесие процессов конденсации и испарения, т.е. скорости конденсации и скорости испарения одинаковы:
. (2.11)
Массообмен на поверхности определяется уравнением баланса
,
где при P>PT – конденсация; при P<PT – испарение.
Процессы сублимации и десублимации описываются аналогичными выражениями. Конденсация тепла идет с выделением теплоты. Теплоту конденсации можно определить по уравнению
(2.12)
При изучении молекулярных потоков в высоком вакууме важно знать направление испаряющихся молекул, его можно определить по уравнению
, (2.13)
где γ – угол; ξ – заданная доля молекулярного потока.