Пленочные резистивные материалы получают из исходных материалов в процессе получения самих резистивных пленок. Свойства таких резистивных пленок значительно отличаются от свойств исходных материалов. Тонкие резистивные пленки наносят на изоляционные основания (подложки) методом термического испарения в вакууме; катодным, реактивным и иноплазменным распылением; электрохимическим осаждением и др.
В зависимости от исходных материалов пленочные резисторы разделяют на металлопленочные и металлооксидные, композиционные, углеродистые.
Для изготовления металлопленочных и металлооксидных резисторов применяют тугоплавкие металлы тантал, титан, никель, хром, палладий, рений, вольфрам и сплавы на их основе. Пленочные резисторы из рения и вольфрама получают методом катодного распыления и защищают тонким слоем двуокиси кремния для стабилизации электрического сопротивления. Такие пленочные резисторы обладают следующими свойствами: электрическое сопротивление в несколько тысяч Ом на квадрат поверхности, высокая стойкость к окислению, способность работать при повышенных температурах.
Таблица 4 - Основные проводниковые материалы высокого сопротивления
| Свойства | Резистивные материалыллы | Материалы различного применения | |||
| Манганин | Константан | Вольфрам | Нихром | Природный графит | |
| Состав | |||||
| Плотность, (кг/м3) | |||||
| Температура плавления, (оC) | |||||
| Температурный коэффициент удельного сопротивления | |||||
| Относительное удлинение при разрыве, % | |||||
| Предел прочности при растяжении σр, (Н/м2) | |||||
| Удельное электрическое сопротивление, (Ом·м) | |||||
| Достоинства | |||||
| Недостатки | |||||
| Область применения |