Электронный микроскоп построен на таком же принципе получения изображения, как и оптический, но вместо видимого света в нем используется пучок электронов.
Роль линз в электронном микроскопе играет совокупность электрических и магнитных полей. Поскольку электронные пучки не воспринимаются непосредственно глазом, в электронном микроскопе изображение либо фотографируется, либо проецируется на экран. Еще одно принципиальное отличие электронного микроскопа от оптического заключается в том, что в электронном микроскопе контраст создается за счет разного рассеяния электронов от соседних участков.
Длина волны электрона, как известно, во много раз меньше длины волны видимого света. Предел разрешения электронного микроскопа можно вычислить из выражения (6.11) при длине волны 0.005 нм. Даже при апертуре A=0.01 предел разрешения электронного микроскопа составит = 0.25 нм, что в 1000 раз меньше, чем в обычном оптическом микроскопе.
Однако, хотя предел разрешения электронного микроскопа несравнимо меньше, чем оптического, у электронного микроскопа есть свои недостатки, в частности, невозможность изучения живых биологических объектов, которые под воздействием пучка электронов мгновенно сгорят.