Является окончательным методом тонкой обработки, в процессе которого получается особо гладкая поверхность. При этом значительно снижается высота микронеровностей.
Поверхности обрабатывают абразивными брусками, установленными в специальной головке. Для суперфиниширования характерно колебательное движение головки с очень малой амплитудой наряду с движением с вращательным и поступательным движением заготовки.
Суперфинишированием чаще обрабатывают наружные поверхности.
С помощью этого метода обработки значительно уменьшается величина шероховатости поверхности, но практически не устраняются погрешности формы, получаемые в процессе предыдущей обработки.