Суперфиниширование реализуется при сочетании следующих движений: вращательного движения заготовки Vз, поступательного движения абразивных брусков, а также их колебательного движения. Совокупность таких движений обеспечивает выполнение принципа неповторения следов абразивных зёрен. Абразивные бруски (обычно два) подпружинены, то есть величина давления с их стороны на заготовку невелика, что исключает возможность устранения погрешности формы, полученной на предыдущей обработке. Частота колебания брусков около 50 Гц, при амплитуде от двух до пяти мм. Суперфиниширование осуществляется в среде СОЖ. Данный метод является циклическим процессом и при достижении определённой шероховатости автоматически прекращается: дальнейшего съёма материала заготовки не происходит, хотя все рабочие движения продолжают выполняться. Это объясняется тем, что при снятии микровыступов увеличивается площадь контакта между поверхностью заготовки и брусков. В результате, уменьшается удельное контактное давление и при определённой шероховатости усилия прижима бруска становится недостаточно для разрыва масляной плёнки.
Припуск на суперфиниширование менее 0,08 мм. Метод позволяет получать шероховатость Rа=0,16¸0,02.