У виробництві гібридних ІМС використовується плівкова технологія, що дозволяє виготовляти з досить стабільними параметрами лише пасивні елементи — резистори, конденсатори, індуктивні котушки. Тому чисто плівкові ІМС являють собою набори резисторів, конденсаторів або резистивно- ємносні ланцюги, тобто є пасивними ІМС. Активні компоненти в гібридних ІМС виконують у виді дискретних приладів.
У технологічному відношенні гібридні ІМС, як і напівпровідникові ІМС, виготовляють груповим методом шляхом нанесення плівкових пасивних елементів на діелектричну підкладку з наступним приєднанням до цих елементів начіпних активних компонентів, у тому числі ІМС, розташованих на цій же підкладці. Використання в гібридних ІМС широкої номенклатури начіпних компонентів дозволяє в ряді випадків одержати для них особливі схемотехнічні переваги перед напівпровідниковими ІМС, хоча гібридні ІМС уступають останнім по щільності упакування, надійності і собівартості. Слід зазначити, що при виробництві гібридних ІМС виходить більш високий відсоток виходу придатних виробів (60—80%) у порівнянні з тією же величиною для напівпровідникових ІМС (5—30%).
Основними компонентами гібридних ІМС є: підкладка, система пасивних елементів (резистори, конденсатори, індуктивні котушки) і їхні з'єднання, активні начіпні компоненти.
Підкладка.
Найбільше широко застосовують прямокутні підкладки з розмірами: 6X15, 8X12, 10Х16, 11Х11, 12X12, 12X16, 12X20, 16X20, 24X30, 48X60 мм при товщині 0,5 - 2 мм. Підвищення ступеня інтеграції за рахунок зменшення розмірів елементів гібридних ІМС пред'являє всі зростаючі вимоги до чистоти обробки поверхні підкладки, її мікронерівностям, ступеневі площинності, теплопровідності, хімічній стійкості, механічній міцності й ін. У цьому зв'язку прийнятними є три групи матеріалів: скла, склокристалічні матеріали і кераміка. Найбільш широко, як підкладки використовуються склокристалічні матеріали – сітали.
Високі електроізоляційні властивості, термостійкість, хімічна й абразивна стійкість, волого- і газонепроникність, механічна міцність, легкість обробки роблять сітали основним матеріалом підкладок.