Только в XIX в. удалось научно объяснить соответствия и.-е. языков и воссоздать процесс их развития. Cравнение стало средством, а исторический подход к языку – главным принципом исследования. Основоположниками сравнительно-исторического метода были немецкий лингвист Франц Бопп (Franz Bopp) и датчанин Расмус Раск (Rasmus Rask).
В 1816 г. в труде «О системе спряжения санскритского языка в сравнении с таковою в греческом, латинском, персидском и германских языках» Ф. Бопп сочетал принцип историзма и метод сравнения при описании грамматических фактов родственных языков. Он показал, что сходство в спряжении глаголов в этих языках могло быть объяснено общностью их происхождения. Ф. Боппу наука обязана созданием первой сравнительно-исторической грамматики и.е. языков (1833-49) и выработкой методики сравнения форм в родственных языках.
В своей работе «Исследование происхождения древнесеверного, или исландского языка» (1818) Расмус Раск доказал общность германских языков и наметил звуковые соответствия между ними и другими и.е. языками. Заслуга Р. Раска состояла в выработке методики анализа соотносимых друг с другом грамматических форм и в демонстрации разных степеней родства между языками.
Большое значение имела «Немецкая грамматика» Якоба Гримма (Jacob Grimm, 1819¾1837). Я. Гримм применил в описании грамматики немецкого языка метод сравнения с другими германскими языками. Я. Гримму принадлежит заслуга построения схемы исторического развития родственных языков. Он рассмотрел систематически три ступени развития германских языков – древнюю, среднюю и новую – от готского до новонемецкого и новоанглийского. Начиная с Гримма, понятие историческая грамматика группы языков и отдельного языка стало в языкознании реальностью.
Вильгельм фон Гумбольдт в труде «О сравнительном изучении языков применительно к различным эпохам их развития» (1820) обосновал статус сравнительно-исторического языкознания как особой лингвистической дисциплины.
Генетическим связям славянских языков посвящена работа А.Х. Востокова «Рассуждения о славянском языке, служащие введением к грамматике сего языка, составляемой по древнейшим оного письменным памятникам» (1820).
Создатели сравнительно-исторического метода не только обосновали положение о родстве языков, но и заложили основы научных приемов сравнительно-исторического анализа фактов родственных языков.