Линейность полупроводниковых тензодатчиков. Тензоэлектрические материалы с низкой концентрацией легированной примеси обладают существенной нелинейностью.
При концентрации примеси от 1019 до 1020 линейность заметно улучшается, особенно для датчиков с положительной проводимостью при действии растягивающих усилий, а для датчиков с отрицательной проводимостью - при действии сжимающих усилий.
Это можно использовать при создании двухэлементных тензодатчиков, поскольку нелинейные компоненты в измерительном мосту дополнительно взаимно компенсируются. Усталостные свойства полупроводниковых тензодатчиков заметно уступают металлическим фольговым тензодатчикам. Но достоинство этих тензодатчиков заключается в их большой чувствительности при измерении малых деформаций. 8