Жидкие диэлектрики имеют значительно большее значение электрической прочности, чем газы. Наличие в жидкости примесей (например, газы, влага, механические частицы) значительно снижает пробивное напряжение и усложняет выяснение механизма пробоя.
В очень чистых жидкостях при больших значениях напряженности электрического поля может существовать вырывание электронов из металлических электродов и разрушение молекул самой жидкости. При этом большая электрическая прочность жидкости сравнительно с газом обусловлена малой длиной свободного пробега электронов.
В технически чистых жидкостях пробой связан с локальным перегревом жидкости и вскипанием ее в местах наибольшего количества примесей, которое приводит к созданию газового мостика между электродами.
На радиочастотах пробой жидкости обусловлен ее разогревом за счет диэлектрических потерь, что может приводить к термическому разрушению жидкости. Поэтому необходимо устанавливать пониженные рабочие значения напряженности поля для жидких диэлектриков при радиочастотах по сравнению с промышленной частотой. Очистка жидкости значительно увеличивает её электрическую прочность.