Она обусловлена присутствием влаги или загрязнения на поверхности диэлектрика. Удельная поверхностная проводимость тем меньше, чем меньше полярность диэлектрика, чем чище поверхность диэлектрика и лучше она отполирована.
Наибольшим высоким удельным поверхностным сопротивлением обладают неполярные диэлектрики, у полярных удельное поверхностное сопротивление ниже.
Низкие значения удельного поверхностного сопротивления имеют объёмно – пористые материалы, так как в результате поглощения влаги на поверхности образуется плёнка воды. Загрязнение поверхности диэлектрика также снижает его удельное поверхностное сопротивление. Для повышения удельного поверхностного сопротивления применяют различные приёмы очистки:
1. Промывка (вода или растворитель),
2. Прокаливание (t=600 - 700°C).
Если диэлектрик не впитывает воду, то его кипятят в дистиллированной воде. Стекло и керамику покрывают кремний органическими лаками.