Реферат Курсовая Конспект
Работа сделанна в 1996 году
Общие принципы кинетики травления - Отчет по Практике, раздел Высокие технологии, - 1996 год - Жидкостное химическое травление Общие Принципы Кинетики Травления. Гетерогенные Твердофазные Реакции Затрагив...
|
Общие принципы кинетики травления. Гетерогенные твердофазные реакции затрагивают различные разделы химии, механики и физики. Типичный процесс включает в себя следующую последовательность реакций 1 перенос реагента 2 адсорбция реагента Нads 3 реакция на поверхности F 4 десорбция продуктов Нvap 5 перенос продуктов.
Самый медленный этап определяет скорость реакции. В реакциях низшего порядка Скоростьk нулевой порядок, 12 СкоростьkE первый порядок. 13 скорость зависит от концентрации травителя Е только в случае реакции первого порядка. При выборе той или иной реакции травления стараются остановиться на процессе с наименьшим количеством параметров и преимущественно линейными скоростями травления.
Желательно также иметь возможность изменения анизотропии регулированием физических параметров и высокую селективность процесса т. е. отсутствие воздействия травителя на резист или слой, находящийся под стравливаемой пленкой. В реакциях нулевого порядка слабое обеднение травителя несущественно. Однако в реакциях первого порядка мы не имеем достаточного избытка травителя, и он может сильно истощиться при загрузке десяти или более пластин.
В реакциях простого порядка зависимость толщины стравленной пленки или логарифма толщины от времени линейная. Поэтому окончание реакции может контролироваться и точно определяться экстраполяцией. Рассмотрим механизм переноса для двух основных типов реакций - диффузионно-контролируемых и ограниченных скоростью реакции. Вообще говоря, в процессе травления могут быть вовлечены все три агрегатных состояния вещества 1 твердая фаза скрытая химическая энергия и физическая структура пленки 2 жидкая фаза перенос ионов в жидком диэлектрике, обладающем высокой вязкостью 3 газообразная фаза хемосорбция, рекомбинация, ионизация и средний свободный пробег газовых частиц при пониженном давлении.
– Конец работы –
Эта тема принадлежит разделу:
В литографии травление применяется в основном для формирования диффузионных масок в слое термически окисленного кремния или для удаления материала… Металлическая разводка формируется путем селективного удаления промежутков… Задача инженера-технолога состоит в том, чтобы обеспечить перенос изображения с резистной маски в подложку с…
Если Вам нужно дополнительный материал на эту тему, или Вы не нашли то, что искали, рекомендуем воспользоваться поиском по нашей базе работ: Общие принципы кинетики травления
Если этот материал оказался полезным ля Вас, Вы можете сохранить его на свою страничку в социальных сетях:
Твитнуть |
Новости и инфо для студентов