ОПЕРАЦИЯ УДАЛЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТА В СМЕСИ КАРО. Оборудование. установка химической обработки ЩЦМЗ 240 212 нагреватель ультрачистых сред ЩЦМЗ 031 173 кассета 07-0518 тара межоперационная ЩИТ - 725 пинцет 09-1114 держатель 03-0767 стекло 093-2, КЛ.2, штабик 50 ОСТ 11 110735 002-73 нарукавники полиэтиленовые ТУ 95 7037-73 термометр жидкостной стеклянный тип А ГОСТ 28 498-90 пластина со структурами 17.10201.00024 водорода перекись 17.10201.00022 кислота серная 17.10201.00024 вода деионизованная марка А ТВО 029 001 МК-02 спирт этиловый ректификованный технический марка Экстра ГОСТ 18300-87 перчатки резиновые А7-10 ГОСТ 3-88 салфетка из мадаполама ТВО 054 115 МК-01 салфетка из батиста ТВО 054 108 МК-02 Настоящая карта устанавливает порядок проведения процесса удаления пленок фоторезиста с кремниевых пластин, не имеющих металлических покрытий, в серной кислоте, а затем в смеси серной кислоты и перекиси водорода смеси Каро. Требования безопасности. 1.1 При проведении данного процесса возможны следующие виды опасности 1 химические ожоги 2 отравления 3 электроопасность 4 термоопасность 5 порезы. 1.2 Источниками химических ожогов являются серная кислота, перекись водорода и их смеси, а также их пары при попадании на кожу и в организм человека. 1.3 Источником электроопасности является установка химической обработки с незащищенной электропроводкой и заземлением. 1.4 Источником термоопасности является нагретая смесь серной кислоты и перекиси водорода и подогретая деионизованная вода. 1.5 Источником порезов может быть применяемая стеклянная оснастка со сколами и трещинами. 1.6 Во избежание химических ожогов и отравлений выполнять требования изложенные в ТВО 045 039 ТИ. 1.6.1 Работу со смесью перекиси водорода и серной кислоты на установке проводить только при закрытых шторках, в резиновых перчатках одноразового использования, в нарукавниках и фартуке. 1.6.2 На рабочем месте не должно быть предметов не относящихся денной операции, наличие органических веществ и других реактивов, не предусмотренных картой, так как перекись водорода является сильным окислителем. 1.7 Во избежание термоопасности не касаться руками горячих частей оборудования и горячих растворов. 1.8 Во избежание порезов необходимо быть внимательным и осторожным при использовании оснастки из стекла.
В случае боя стеклянной оснастки собрать крупные осколки сухой салфеткой, а мелкие влажной и выбросить в урну. 1.9 При возникновении аварийной ситуации немедленно отключить технологический блок тумблером, расположенным на нижней панели управления, поставив его в положение ОТКЛ, затем вызвать наладчика, сообщить мастеру.
Подготовка рабочего места и организация трудового процесса. 2.1 Убедитесь по записи в журнале, что производственная гигиена рабочего места и участка соответствует 17.25101.00002. 2.2 Убедиться по журналу готовности оборудования, что установка химической обработки пластин и установка контроля проверены и подготовлены к работе наладчиком. Без подписи наладчика к работе не приступать, сообщить мастеру. 2.3 Надеть перед началом работы вне рабочей зоны полиэтиленовые нарукавники и резиновые перчатки.
Промыть руки в перчатках деионизованной водой и осушить салфеткой. 2.4 Проводить ежедневно в начале смены протирку влажной салфеткой из мадаполама внешних поверхностей установки и решетки вытяжки слива.
На лицевой панели установки должна быть надпись, указывающая назначение операции и наименование используемого раствора. 2.5 Промыть рабочие ванны и находящиеся в них нагреватели, решетки и крышки деионизированной водой из шланга. 2.6 Слить воду из рабочих ванн, открыв вентили слива.
Убедиться в том, что вода полностью удалена из ванн. 2.7 Контролировать расход вод деионизированной по ротаметру, он должен составлять 41 лмин на одну установку. 2.8 Приготовить смесь серной кислоты перекиси водорода в двух рабочих ваннах установки. 2.8.1 Налить на дно первой ванны 25-50 мл перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода на 1-2 с. Закрыть кран. 2.8.2 Налить в первую ванну 6 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран. 2.8.3 Налить во вторую ванну 1.8 л перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода, до нижней отметки на стенке ванны.
Закрыть кран. 2.8.4 Налить во вторую ванну 4.2 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны.
Закрыть кран. 2.8.5 Перемешать приготовленную смесь Каро с помощью стеклянной палочки.
Закрыть ванны крышками. 2.8.6 Выставить на реле времени время обработки в первой рабочей ванне с серной кислотой 5 минут, во второй рабочей ванне со смесью Каро 3 минуты. 2.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран. 2.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в промежуточной ванне.
Она должна быть 6550С. Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу остановить, сообщить неполадку. 2.11 Получить в кассете пластины, предназначенные для данной операции.
Убедиться по сопроводительному листу, что полученные пластины предназначены для данной операции и что проведены предыдущие операции. 2.12 При измерении объемов жидких материалов допустимое отклонение обеспечивается имеющимися средствами измерения.
Технологический процесс. 3.1 Включить нагреватель ванн соответствующими тумблерами автомата НАГРЕВАТЕЛЬ, поставив тумблеры в верхнее положение, при этом должны загореться сигнальные лампочки. 3.2 Нагреть серную кислоту в первой ванне и смесь Каро во второй ванне до температуры 150100С. При достижении технологической температуры загорается сигнальная лампочка регулятора температуры. 3.3 Открыть крышки ванн. 3.4 Убедиться с помощью термометра, что температура нагретой серной кислоты и смеси Каро соответствуют заданной.
В случае несоответствия температур по регулятору и термометру на величину, превышающую 100С, вызвать наладчика для устранения несоответствия.
Разрешается начинать обработку пластин при температуре 1200С. 3.5 Опустить кассету с пластинами с помощью ручки в ванну с нагретой серной кислотой.
Погружение кассет с пластинами проводить медленно. При возникновении бурной реакции при растворении фоторезиста поднять кассету.
Следить за тем, чтобы пластины в процессе погружения остались в пазах кассеты. 3.6 Включить реле времени первой рабочей ванны. 3.7 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из первой ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции серной кислоты обрабатывать не более 1500 пластин. При обработке пластин в первой рабочей ванне в серной кислоте после обработки каждых 250 пластин доливать серную кислоту 150-200 мл до уровня верхней отметки на стенке ванны. 3.8 Переставить кассету с пластинами во вторую рабочую ванну со смесью Каро. 3.9 Включить реле времени второй рабочей ванны. 3.10 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из второй ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции смеси Каро обрабатывать не более 300 пластин.
После обработки 100 пластин осторожно доливать в ванну со смесью Каро 20050 мл перекиси водорода.
Следующую доливку делать после обработки каждых 50 пластин. 3.11 Выдержать пластины в кассете в рабочем объеме в течении 1-2 минут. 3.12 Поместить кассету с пластинами в ванну с горячей деионизованной водой. 3.13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2 минут. 3.14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну каскадной промывки. 3.15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне.
В третьей ванне каскада выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Момсм по прибору контроля сопротивления деионизованной воды. 3.16 Перенести кассету с пластинами на сушку пластин по ТВО 734 618 ТАК КАК по окончании отмывки пластин. 3.17 Передать обработанные пластины в кассете на следующую операцию, заполнив сопроводительный лист. 3.18 Отключить по окончании работы нагреватели ванн, поставив тумблер блока управления НАГРЕВАТЕЛЬ в нижнее положение. 3.19 Слить серную кислоту и смесь Каро из рабочих ванн, открыв кран слива и предварительно охладив их до 80-50 0С. Перед сливом серной кислоты добавить в ванну 200 мл перекиси водорода. 3.20 Промыть рабочие ванны, находящиеся в них решетки и нагреватели, деионизованной водой из шланга. 3.21 Закрыть вентили слива и закрыть рабочие ванны крышками. 3.22 Протереть стол установки, крышки ванн салфеткой из мадаполама. 3.23 Отключить технологический блок. Проводить отмывку оснастки и ванн установки не реже одного раза в неделю.
Разрешается одновременно обрабатывать по две кассеты с пластинами.