Тема: Пленочные наноструктуры

 

 

Студент ____________ Шаповалов Вадим Владимирович

подпись

 

Преподаватели ассистент, Комлев А.А.

(Руководители) ассистент, Комлев А.А.

 

 

Оценка за работу

подпись преподавателя

 

Санкт-Петербург

Содержание:

 

Введение………………………………………………………………………………………….3

Основная часть…………………………………………………………………………………...4

Тонкие пленки и их классификация………………………………………….………………...6

Термовакуумное напыление…………………………………………………………………….6

Ионно-плазменные методы получения тонких пленок………………………………………..8

Катодное распыление……………………………………………………………………..……10

Высокочастотное распыление…………………………………………………………………11

Магнетронное распыление……………………………………………………………………..13

Ионно-лучевые методы получения тонких пленок………………………………………......14

Молекулярно-лучевая эпитаксия……………………………………………………………...15

Лазерное распыление…………………………………………………………………………..16

Химические вакуумные методы……………………………………………………………….17

Реактивное катодное распыление……………………………………………………………..17

Жидкофазная эпитаксия………………………………………………………………………..18

Химические вневакуумные методы…………………………………………………………...19

Электрохимическое осаждение покрытий……………………………………………………19

Химическая металлизация……………………………………………………………………..20

Применение пленочных материалов…………………………………………………………..21

Заключение……………………………………………………………………………………...23

Список литературы……………………………………………………………………………..24

Приложение……………………………………………………………………………………..24

Введение.

Современный научно-технический прогресс в значительной степени определяется развитием электроники, основой которой являются успехи фундаментальных наук, в первую очередь химии твердого тела. Последние достижения в этой области связаны с химией наноструктур. На сегодняшний день химия наноструктур - актуальнейшая и наиболее динамично развивающаяся область современной химии твердого тела. Интерес к этой области связан как с принципиально новыми фундаментальными научными проблемами и физическими явлениями, так и с перспективами создания на основе уже открытых явлений совершенно новых устройств и систем с широкими функциональными возможностями для опто - и наноэлектроники, измерительной техники, информационных технологий нового поколения, средств связи и пр.

В последнее время интенсивно развиваются технологии создания композитных материалов. Одним из основных ее достоинств является возможность использования принципиально новых подходов в создании искусственных сред - наноматериалов. Эти материалы проявляют уникальные свойства, существенно отличающиеся от свойств вещества в макроскопическом (объемном) состоянии.

Среди основных составляющих науки о наноматериалах и нанотехнологиях можно выделить следующие: 1) фундаментальные исследования свойств материалов на наномасштабном уровне; 2) развитие нанотехнологий как для целенаправленного создания наноматериалов, так и поиска и использования природных объектов с наноструктурными элементами, создание готовых изделий с использованием наноматериалов и интеграция наноматериалов и нанотехнологий в различные отрасли промышленности и науки; 3) развитие средств и методов исследования структуры и свойств наноматериалов, а также методов контроля и аттестации изделий и полуфабрикатов для нанотехнологий.

Начало XXI века ознаменовалось революционным началом развития нанотехнологий и наноматериалов. Они уже используются во всех развитых странах мира в наиболее значимых областях человеческой деятельности (промышленности, обороне, информационной сфере, радиоэлектронике, энергетике, транспорте, биотехнологии, медицине). Анализ роста инвестиций, количества публикаций по данной тематике и темпов внедрения фундаментальных и поисковых разработок позволяет сделать вывод о том, что в ближайшие 20 лет использование нанотехнологий и наноматериалов будет являться одним из определяющих факторов научного, экономического и оборонного развития государств. Некоторые эксперты даже предсказывают, что XXI века будет веком нанотехнологий ( по аналогии с тем как XIX век называли веком пара, а XX век – веком атома и компьютера).