Реферат Курсовая Конспект
Высокочастотное распыление - раздел Физика, Физические основы нанесения покрытий методом распыления Данный Метод Используется, Как Правило, Для Распыления Диэлек...
|
Данный метод используется, как правило, для распыления диэлектриков. Отличается от катодного распыления тем, что на электроды, один из которых расположен под распыляемым диэлектриком, подается высокочастотный потенциал (частота от 1 до 20 МГц) (рисунок 7).
а) | б) |
Рисунок 7 – Схема высокочастотного распыления. 1– распыляемый диэлектрик; 2– подложкодержатель; 3– изделие
При подаче отрицательного потенциала на мишень (рисунок 7.22, а) протекают процессы ее распыления ионами аргона и одновременно их адсорбция на поверхности. В итоге между электродами создается тормозящее электрическое поле, приводящее к снижению и даже прекращению распыления. При замене знака потенциала, подаваемого на диэлектрическую мишень, на положительный ее поверхность обрабатывается электронами, что приводит к нейтрализации адсорбированного заряда (рисунок 7.22.б). Оптимальными условиями является равенство характерного времени зарядки поверхности полупериоду высокочастотных колебаний, подаваемых на электроды.
Характерные параметры процесса:
-частота изменения потенциала– 1…20 МГц;
-cкорость распыления – 2·106…2·107 г/(см2·с);
-удельная испаряемость – β=6·10-7 г/Дж;
-энергия распыленных частиц – до 200 эВ;
-скорость осаждения покрытия – до 3 нм/с;
-оптимальное давление в камере– 2…3 Па.
Данный процесс относится к классу плазменных (плазмохимических) процессов, особенно при распылении высокомолекулярных (полимерных) материалов.
При введении в камеру химически активных газов предоставляется возможность получения пленок соответствующего состава. Таким методом получают, в частности, пленки из высокотемпературной сверхпроводящей керамики.
Метод ВЧ-распыления находит промышленное применение при осаждении износостойких и коррозионно-стойких покрытий SiO2, оксида алюминия Al2O3 и из других химических соединений.
– Конец работы –
Эта тема принадлежит разделу:
На сайте allrefs.net читайте: "Физические основы нанесения покрытий методом распыления"...
Если Вам нужно дополнительный материал на эту тему, или Вы не нашли то, что искали, рекомендуем воспользоваться поиском по нашей базе работ: Высокочастотное распыление
Если этот материал оказался полезным ля Вас, Вы можете сохранить его на свою страничку в социальных сетях:
Твитнуть |
Новости и инфо для студентов