Реферат Курсовая Конспект
В несамостоятельном газовом разряде - раздел Физика, Физические основы нанесения покрытий методом распыления Несамостоятельный Газовый Разряд – Разряд, Для Поддержания Которого Необходим...
|
Несамостоятельный газовый разряд – разряд, для поддержания которого необходим постоянный подвод энергии извне. Для инициирования и поддержания газового разряда, как правило, используют:
1) заряженные частицы, например, электроны, генерируемые отдельным источником;
2) ультрафиолетовое или γ- излучение (образование заряженных частиц происходит вследствие ионизации или фотоэффекта);
3) внешнее высокочастотное электромагнитное поле.
В технологии получения покрытий наиболее часто в качестве внешнего ионизатора используют электроны, источником которых является, например, размещенный в камере термокатод. Наиболее простой реализацией данного метода является трехэлектродное устройство распыления с термокатодом (рисунок 8).
Рисунок 8 – Схема распыления в несамостоятельном газовом разряде: 1– термокатод; 2– анод; 3– распыляемая мишень; 4– изделие
Использование несамостоятельного газового разряда позволяет значительно снизить начальное давление в камере и, таким образом, уменьшить концентрацию химически активных газов и, соответственно, повысить химическую однородность покрытий.
При реализации данного метода достигаются следующие характерные параметры:
-скорость осаждения – до 0,1 мкм/мин. При этом скорость распыления регулируется в широких пределах, например, путем изменения тока эмиссии термокатода;
-удельная испаряемость β ≈ 10-7 г/Дж.
Преимущества метода распыления в несамостоятельном газовом разряде по сравнению с другими методами заключаются:
1) в универсальности, т.к. можно получать покрытия любой природы, в том числе из самых тугоплавких материалов, полимеров;
2) высокой сплошности и адгезии формируемых покрытий (они не содержат включения активных газов и химических соединений с их участием);
3) возможности получения покрытий сложного состава (карбидов, нитридов, оксидов);
4) достижении относительно высокой скорости распыления и, соответственно, скорости роста покрытий.
– Конец работы –
Эта тема принадлежит разделу:
На сайте allrefs.net читайте: "Физические основы нанесения покрытий методом распыления"...
Если Вам нужно дополнительный материал на эту тему, или Вы не нашли то, что искали, рекомендуем воспользоваться поиском по нашей базе работ: В несамостоятельном газовом разряде
Если этот материал оказался полезным ля Вас, Вы можете сохранить его на свою страничку в социальных сетях:
Твитнуть |
Новости и инфо для студентов