Физические основы нанесения покрытий методом распыления

Физические основы нанесения покрытий методом распыления

Физические основы ионного распыления

При взаимодействии быстрых частиц (ионов) с поверхностью твердого тела (мишени) протекает каскад упругих бинарных столкновений, основным результатом… Так как столкновения атомов имеют упругий характер, то для такой системы… ;

Катодное распыление

Катодное распыление является одним из наиболее известных способов нанесения покрытий. Еще в 1852 г. было установлено, что при прохождении… Схемы устройств для нанесения покрытий методом катодного распыления… В наиболее простом варианте (рисунок 7.18, а) устройство состоит из распыляемого катода 5, на который подают потенциал…

Магнетронное распыление

Магнетронное распыление – разновидность диодного катодного распыления. Образование паров распыляемого вещества происходит в результате бомбардировки… Рисунок 4 – Схема пленарной магнетронной системы: I – прокладки; 2 – основание; 3 – водяной канал; 4, 5 – корпус: 6 –…

Высокочастотное распыление

Данный метод используется, как правило, для распыления диэлектриков. Отличается от катодного распыления тем, что на электроды, один из которых…       а) б)  

Получение покрытий распылением

В несамостоятельном газовом разряде

1) заряженные частицы, например, электроны, генерируемые отдельным источником; 2) ультрафиолетовое или γ- излучение (образование заряженных частиц… 3) внешнее высокочастотное электромагнитное поле.

Методы контроля параметров осаждения покрытий

Для получения вакуумных покрытий с воспроизводимыми свойствами нужен контроль технологических параметров процесса на всех его стадиях. К числу… - режимы процессов испарения или распыления; - химический состав и давление остаточных газов в камере;

ВАКУУМНАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ПОЛИМЕРных материалов

В настоящее время металлизированные полимерные материалы используют не только в декоративных целях. Их начинают применять также и в качестве… Рост производства металлизированных полимеров и расширение областей их… 1. Изготовление пленочных упаковочных материалов, применяющихся для хранения продуктов, лекарственных препаратов и…

Особенности вакуумной металлизации полимерных материалов

Полимерные материалы как объекты вакуумной металлизации имеют следующие основные особенности: 1. Относительно низкая поверхностная энергия. Следствием этого является малое… 2. Высокая микрогетерогенность поверхностных слоев полимерных материалов. В поверхностных слоях могут находиться…

Технология вакуумной металлизации полимерных материалов

Типовой технологический процесс вакуумной металлизации изделий из полимерных материалов включает следующие основные стадии. 1. Конструкторская подготовка детали к металлизации. Полимерная деталь не… 2. Сушка и обезгаживание полимерных деталей. Полимеры содержат большое количество адсорбированной влаги. Полиамиды,…