Ведомость технологической документации

Ведомость технологической документации. МГОУ 605124 605124 ВО 0 С НПП Обозначение ДСЕ Наименование ДСЕ кл В Цех уч. РМ Опер. Код, наименование операции Т опер. Обозначение ТО Кол Наименование ТО Д НПП Код, наименование оборудования С 1 605124 Пластина 2 Т 3 ADT 976 Установка отмывки OSTEC Д 4 EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC Д 5 HP 150 Установка сушильная Sawatec Д 6 EVG 620 Установка совмещения и экспонирования OSTEC Т 7 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 8 ТУ 64-1-37-78 Пинцет ПС 160 3.О Т 9 ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A Т 10 ВТМ 4.189. 017 Тара для хранения пластин 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 Разраб.

Н. контр. ВО ВОБ Ведомость оборудования 3 1 МГОУ 605124 605124 МК В Цех УЧ. РМ Опер. Код, наименование операции Г Обозначение документа Д Код, наименование оборудования Е см проф Р УТ КР КОИД ЕН ОП К шт Тпз Т шт Л М Наименование детали, сб. единицы или материала Н М Обозначение, код ОПП ЕВ ЕН КИ Н. расх. В 1 005 Очистка подложки 2 Г 3 605124 ОКУ 4 Т 5 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 6 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 7 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин М 8 ОСТ 11.029.003 - 80 Вода деионизированная марки А Н 9 Склад Л 8 12 М 10 ГОСТ 9293-74 Азот газообразный Н 11 Склад Л 8 6 Д 12 ADT 976 Установку отмывки OSTEC 13 В 14 010 Контроль качества отмывки 15 Г 16 605124 ОК 17 Т 18 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 19 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 20 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин Д 21 ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A 22 В 23 015 Нанесение фоторезиста 24 Г 25 605124 ОКУ 26 Уважаемый преподаватель курсовая скачена из интернета и студентом даже не прочитана Т 27 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 28 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 30 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин Разраб.

Н. контр.

МК Маршрутная карта 2 МГОУ 605124 605124 МК В Цех УЧ. РМ Опер. Код, наименование операции Г Обозначение документа Д Код, наименование оборудования Е см проф Р УТ КР КОИД ЕН ОП К шт Тпз Т шт Л М Наименование детали, сб. единицы или материала Н М Обозначение, код ОПП ЕВ ЕН КИ Н. расх. М 1 ТУ 2378-005-29135749 Фоторезист ФП 383 Н 2 Склад Л 1 5?10-3 Д 3 EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC 4 В 5 020 1я сушка 6 Г 7 605124 ОКУ 8 Т 9 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 10 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 11 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин Д 12 HP 150 Установка сушильная Sawatec 13 В 14 025 Совмещение и экспонирование 15 Г 16 605124 ОКУ 17 Т 18 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 19 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 20 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин Д 21 EVG 620 Установка совмещения и экспонирования OSTEC 22 В 23 030 Проявление фоторезиста 24 Г 25 605124 ОКУ 26 Т 27 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 28 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 30 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин Разраб.

Н. контр.

МК Маршрутная карта 3 МГОУ 605124 605124 МК В Цех УЧ. РМ Опер. Код, наименование операции Г Обозначение документа Д Код, наименование оборудования Е см проф Р УТ КР КОИД ЕН ОП К шт Тпз Т шт Л М Наименование детали, сб. единицы или материала Н М Обозначение, код ОПП ЕВ ЕН КИ Н. расх. М 1 ТУ 2378-007-29135749 Проявитель УПФ-1Б Н 2 Склад Л 1 0.4 Д 3 EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC 4 В 5 035 2я сушка 6 Г 7 605124 ОКУ 8 Т 9 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 10 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 11 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин Д 12 HP 150 Установка сушильная Sawatec 13 В 14 040 Контроль рельефа рисунка фоторезиста 15 Г 16 605124 ОК 17 Т 18 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 19 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 20 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин Д 21 ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A 22 В 23 045 Травление подложки 24 Г 25 605124 ОКУ 26 Т 27 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 28 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 30 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин Разраб.

Н. контр.

МК Маршрутная карта 4 МГОУ 605124 605124 МК В Цех УЧ. РМ Опер. Код, наименование операции Г Обозначение документа Д Код, наименование оборудования Е см проф Р УТ КР КОИД ЕН ОП К шт Тпз Т шт Л М Наименование детали, сб. единицы или материала Н М Обозначение, код ОПП ЕВ ЕН КИ Н. расх. М 1 Травитесь Н 2 Склад Л 1 0.6 Д 3 Установка травления 4 В 5 050 Снятие пленки фоторезиста 6 Г 7 605124 ОКУ 8 Т 9 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 10 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 11 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин М 12 ТУ 2378-008-29135749 Сниматель СПР-01Ф Н 13 Склад Л 1 0.8 Д 14 EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC 15 В 16 055 Контроль рельефа рисунка подложки 17 Г 18 605124 ОК 19 Т 20 БАВнп-01 1,2 01 БОКС укрытие Ламинар-С Т 21 ТУ 64 - 1 - 37 - 78 Пинцет ПС 160 30 Т 22 ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин Д 23 ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A 24 25 26 27 28 30 Разраб.

Н. контр.

МК Маршрутная карта 4 1 Разраб.

МГОУ 605124 605124 ОК Пров Утв. Кристал Н. контр. Наименование операции Наименование, марка материала МД Контроль рельефа рисунка фоторезиста Наименование оборудования То Тв Обозначение иот Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A Р Контролируемые параметры Код средств ТО Наименование средств ТО Объем и ПК То Тв 01 Внешний вид изделия Микроскоп Nikon Eclipse L200A 1. В процессе работы должна быть 02 чистота пленки фоторезиста, ТУ 3-3.1210- 75 отбракованна пластина в случае 03 наличие проколов, геометрические Пинцет ПС 160 30 - неполное удаление фоторезиста 04 размеры элементов рельефа ТУ 64 - 1 - 37 - 78 - наличие прополов и царапин на 05 рабочей поверхности фоторезиста 06 - изменение геометрических размеров 07 рельефа сужения, уширения, разрывы 08 2. При обнаружении брака разрешается 09 - снять пластину с производства 10 направить на повторную обработку 11 направить в изолятор брака 12 13 14 ОК