рефераты конспекты курсовые дипломные лекции шпоры

Реферат Курсовая Конспект

Физические основы процесса ионной имплантации

Физические основы процесса ионной имплантации - Лекция, раздел Строительство, Курс лекций Современные упрочняющие и ремонтно-восстановительные технологии и оборудование. Вакуумное методы осаждения покрытий При Бомбардировке Ускоренными Ионами Поверхностного Слоя Металла Энергия Нале...

При бомбардировке ускоренными ионами поверхностного слоя металла энергия налетающего иона рассеивается в серии столкновений с атомами его кристаллической решетки.

При средних энергиях ионов этот процесс контролируется двумя основными механизмами – упругим рассеянием на ядрах атомов кристаллической решетки и неупругим взаимодействием с их электронными оболочками.

Сегодня на основе известных законов ядерной физики вычислены распределения различных имплантированных ионов по глубине образцов из разных материалов.

В первом приближении их можно описать функцией Гаусса. Они подтверждены экспериментально.

 

Изображение каскадов столкновений при внедрении пяти ионов Ti+ в мишень Fe.

 

Максимумы концентрации имплантированных ионов располагаются на глубине от 20 до 2000 нм.

Его положение и величина определяются:

− соотношением масс налетающих ионов и атомов решетки,

− энергией ионов и атомной плотностью решетки,

− дозой облучения и температурой мишени,

− распыляющей способностью ионов.

 
 

 

 


Изменение концентрации Al и B в поверхностном слое стали ШХ-15, имплантированной пучком ионов AlB+, выявленное методом масс-спектрометрии вторичных ионов

 

– Конец работы –

Эта тема принадлежит разделу:

Курс лекций Современные упрочняющие и ремонтно-восстановительные технологии и оборудование. Вакуумное методы осаждения покрытий

Лекция Вакуумное методы осаждения покрытий.. Вакуумное напыление представляет группу способов получения покрытий в которых атомарный поток осаждаемого вещества..

Если Вам нужно дополнительный материал на эту тему, или Вы не нашли то, что искали, рекомендуем воспользоваться поиском по нашей базе работ: Физические основы процесса ионной имплантации

Что будем делать с полученным материалом:

Если этот материал оказался полезным ля Вас, Вы можете сохранить его на свою страничку в социальных сетях:

Все темы данного раздела:

Методы вакуумного напыления покрытий
В соответствии с физическим процессом, лежащим в основе процесса получения атомарного потока вакуумное напыление подразделяется на напыление с помощью термического испарения

Методы ионного распыления
2-й метод состоит в распылении вещества бомбардировкой ускоренными ионами поверхности мишени. В вакуумную камеру после откачки до давления остаточных газов < 0,005Па напускается рабочий

Вакуумно-дуговые источники тяжелых металлических ионов
Схематический вид непрерывного дугового источника металлических ионов: 1 – катод, 2 – водоохлаждаемый катододержатель, 3 – электро

Ионная имплантация.
Это бомбардировка материалов ионами с высокой энергией, при которой происходит их внедрение в поверхностный слой. В сравнении с ионным распылением данный процесс становится возможным при разгоне ио

Изменение структурно-фазового состояния сталей и сплавов при ионной имплантации.
Исследование с помощью просвечивающего электронного микроскопа фольг, приготовленных из поверхностного слоя образцов высокопрочной мартенситной стали 30ХГСН2А, обработанных пучком ионов AlB+, показ

От вида имплантируемых ионов и материала подложки
  Материал подложки Вид имплантируемых ионов Увеличение микротвердости Аl B Ti Cr Fe Со Ni Ст

Дефекты покрытий
При некачественной подготовке поверхности изделий под покрытие, несоблюдении оптимальных режимов напыления и технологии нанесения покрытия, применении некачественных исходных мате

Определение адгезии покрытий.
  Второй важной характеристикой покрытий является их адгезия или прочность сцепления покрытия с подложкой, которая равна напряжению отрыва покрытия от подложки. В настоящее время в ми

Определение микротвердости покрытий.
  Срок службы деталей машин зависит от износостойкости покрытий, которая в основном определяется их твердостью. Чем больше твердость покрытий, тем выше их износостойкость.

Исследование дефектности покрытий с помощью оптической и электронной микроскопии.
  Применяются металлографические и измерительные оптические микроскопы типа BMG-160 “Carl Zeis Jena” , Epiquant, Axiavert, Neophot, МБС-10, сканирующие электронные микроскопы типа Car

Хотите получать на электронную почту самые свежие новости?
Education Insider Sample
Подпишитесь на Нашу рассылку
Наша политика приватности обеспечивает 100% безопасность и анонимность Ваших E-Mail
Реклама
Соответствующий теме материал
  • Похожее
  • Популярное
  • Облако тегов
  • Здесь
  • Временно
  • Пусто
Теги