Впервые металлические покрытия были получены Фарадеем в 1857 г. при проведении экспериментов по пропусканию больших электрических токов через… 1. Высокая производительность процесса нанесения покрытия. Разработаны… 2. Возможность получения покрытий в чистых условиях и, как следствие этого, достижение их высокого качества. Покрытия…
Процесс нанесения вакуумных покрытий предполагает реализацию следующих основных стадий:
– образование газовой фазы (генерация паров, летучих продуктов);
– перенос атомов, частиц вещества от источника газовой фазы до покрываемой поверхности;
Классификация методов осаждения вакуумных покрытий
Наиболее распространена классификация, в соответствии с которой в зависимости от механизма генерации газового потока все известные методы условно разделяют на способы перевода атомов в газовую фазу по механизму испарения и способы образования газовой фазы в результате распыления мишени ионами или высокоэнергетичными атомами (рисунок 2):
Нанесение покрытий
в результате
Рисунок 2 – Классификация вакуумных методов нанесения покрытий
Генерируемые данными методами газовые потоки характеризуются различными значениями энергии частиц, степени ионизации, плотности. Поэтому покрытия, формируемые из распыленных или испаренных частиц, отличаются структурой и, соответственно, свойствами.
В зависимости от природы энергетического воздействия на испаряемое вещество различают:
1) резистивное испарение. В этом случае перевод в газовую фазу происходит под действием тепла, выделяющегося при прохождении электрического тока через резистивный элемент или испаряемое вещество;
2) электронно-лучевое испарение. Нагрев и испарение вещества осуществляются при действии на него потока электронов;
3) лазерное испарение. Источником энергии в данном способе является монохроматическое электромагнитное (лазерное) излучение;
4) электродуговое испарение. Генерация газовой фазы происходит в результате горения электрической дуги и выделения при этом теплоты;
5) индукционное испарение. Образование паров осуществляется в результате нагрева при прохождении через резистивный элемент или испаряемый металл индукционных токов, создаваемых внешним высокочастотным магнитным полем.
Все методы нанесения покрытий, реализующие генерацию газовой фазы по механизму распыления, классифицируют на две большие группы: ионно-лучевые и ионно-плазменные или плазмоионные. В первом случае выбивание атомов мишени происходит под действием бомбардировки ее поверхности ионными пучками определенной энергии. Характерной особенностью данных методов является отсутствие необходимости подачи на распыляемую мишень электрического потенциала. При плазмоионном распылении мишень находится в сильно ионизированной плазме под отрицательным потенциалом относительно плазмы. Под действием электрического поля положительные ионы вытягиваются из плазмы и бомбардируют мишень, вызывая ее распыление.
В зависимости от способа создания плазмы различают следующие разновидности плазмоионного распыления: катодное, магнетронное, высокочастотное и распыление в несамостоятельном газовом разряде.
В настоящее время физические основы процессов испарения и конденсации атомов металла достаточно подробно разработаны. Создана исчерпывающая теория,… Основным уравнением, описывающими испарение атомов металла, является уравнение…
Первые покрытия, осажденные из потока испаренных атомов, были получены, как уже отмечалось, Фарадеем в 1857 году при проведении опытов с испарением… Технология получения покрытий резистивным испарением характеризуется… 1) возможность нанесения покрытий из металлов, диэлектриков, полупроводников;
При электронно-лучевом нанесении вакуумных покрытий нагрев и испарение вещества осуществляются в результате теплового действия электронов,… 1. Возможность получения высоких по плотности потока энергий в электронном… 2. Парообразование происходит на поверхности. Это очень важная особенность процесса. При резистивном испарении более…
При электродуговом нанесении покрытия испарение металла осуществляется в зоне горения дуги вследствие эрозии электрода. Наиболее широкое применение…
Рисунок 11 – Схема электродугового испарения с магнитным удержанием катодных пятен:1–стенки камеры (анод); 2–соленоид;…
Сравнение эффективности методов сортировки массивов: Метод прямого выбора и метод сортировки с помощью дерева
При прямом включении на каждом шаге рассматриваются только один очередной элемент исходной последовательности и все элементы готовой… Полностью алгоритм прямого выбора приводится в прогр. 3. Таблица 2. Пример… Можно сказать, что в этом смысле поведение этого метода менее естественно, чем поведение прямого включения.Для С имеем…
Метод конечных разностей или метод сеток
Суть метода состоит в следующем. Область непрерывного изменения аргументов, заменяется дискретным множеством точек (узлов), которое называется… И эти схемы решаются относительно неизвестной сеточной функции. Далее мы будем… Для решения будем использовать итерационный метод Зейделя для решения сеточных задач.По нашей области G построим…
Методы, применяемые на эмпирическом и теоретическом уровнях познания. Развитие методов познания
За тысячелетия своего развития оно прошло длительный и тернистый путь познания от примитивного и ограниченного ко все более глубокому и… В своей работе я буду рассматривать понятие и классификацию методов научного… Это система принципов, приемов, правил, требований, которыми необходимо руководствоваться в процессе познания.…
0.037
Хотите получать на электронную почту самые свежие новости?
Подпишитесь на Нашу рассылку
Наша политика приватности обеспечивает 100% безопасность и анонимность Ваших E-Mail
Валютные риски и методы их покрытия
В основе валютного риска лежит изменение реальной стоимости денежного обязательства в указанный период. Валютному риску подвержены обе… В приведенном примере проигравшей стороной является экспортер, но в случае… В связи с тем, что курсы абсолютно всех валют, в том числе и резервной валюты - доллара США, подвержены периодическим…
Классификация методов диагностики. Системы фокусировки СВЧ-энергии
Делаются попытки использовать для целей визуализации внутренних структур организма корпускулярное излучение: электроны, нейтроны, протоны.
Чрезвычайно эффективным оказалось применение для задач медицинской интроскопии… Впервые вычислительная машина была использована в радиологии едва ли более 30 лет назад для обработки информации,…
Языки мира: классификация и методы изучения
Разница связана с различием диалектов и языков, во-вторых с определением ареала и сферой использования, в-третьих с оценкой «жизненности» языка.… Вторая основана на исследовании функций и сфер использования языка… Типологическая классификация языков стремится охватить материал всех языков мира, отразить их сходства и различия и…
Метод конечных разностей или метод сеток
Суть метода состоит в следующем. Область непрерывного изменения аргументов, заменяется дискретным множеством точек узлов, которое называется сеткой… Такие системы часто называют разностными схемами. И эти схемы решаются… По нашей области G построим равномерные сетки Wx и Wy с шагами hx и hy соответственно . Wx xiihx, i0,1 N, hxNa Wy…
Новости и инфо для студентов